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[发明专利]一种大口径、高曲率光学镜片用高均匀度真空镀膜机-CN202110563563.1有效
发明人：陈军 -专利权人：南京凯泽瑞兹光电科技有限公司
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提出了一种大口径、高曲率光学镜片用高均匀度真空镀膜机，包括镀膜机体，镀膜机体内设有真空室，真空室内两侧阵列设有若干夹持机构，夹持机构包括支撑杆、铰接连于支撑杆外端的剪叉板，两侧剪叉板组合形成供镜片夹持的空间，剪叉板远离镜片侧通过弹力绳与支撑杆外壁相连，支撑杆非剪叉板端贯穿延伸至镀膜机体外并连有驱动其转动的电机，同侧支撑杆间通过传动链套接传动转动，本申请真空镀膜机可同步处理大量镜片，对镜片正反面均能均匀镀膜，且对夹持边沿无遮挡，镀膜质量高，全面性好，适用于不同规格大小镜片的固定镀膜，高效实用。
一种口径曲率光学镜片均匀真空镀膜

[发明专利]一种载物装置及镀膜设备-CN201811094422.4有效
发明人：顾孛;严鹏 -专利权人：苏州能讯高能半导体有限公司
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种载物装置及镀膜设备，涉及半导体镀膜技术领域。该载物装置包括固定盘、底盘、载物盘及连杆组件，所述底盘位于所述固定盘的下方；所述载物盘相对竖直方向倾斜设置，且底端与所述底盘连接；所述连杆组件的上端与所述固定盘连接，下端与所述载物盘连接，所述连杆组件用于调整所述载物盘的倾斜角度。该载物装置中，载物盘的底端与底盘连接，其上端通过连杆组件与固定盘连接，连杆组件通过调整载物盘上端的高度来调整载物盘的倾斜角度，从而获得不同的薄膜覆盖效果。
一种装置镀膜设备

[发明专利]一种光学镜片真空镀膜设备及使用方法-CN202310077131.9有效
发明人：刘有亮 -专利权人：江苏浩纳光电股份有限公司
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体的说是一种光学镜片真空镀膜设备及使用方法，包括设备底座，所述设备底座的顶部设有控制柜，所述控制柜的一侧设有镀膜柜，所述镀膜柜的后侧与控制柜的后侧之间连接有真空泵。在镜片镀膜的过程中，电机能够带动扇叶转动并产生风，随后扇叶产生的风能够在导向板的作用下吹在罩体的内壁上，从而在导向板的顶部位置形成一道环形的气墙，此时上升的蒸汽离子会因为受到该气墙的阻挡以及在气流的带动作用，从而沿着罩体的内壁向下缓慢的拂过镜片的底面，进而能够在提高蒸汽离子利用率的同时，还能够将蒸汽离子均匀的吹附在镜片的底部，提高镜片的镀膜效率和镀膜的均匀性。
一种光学镜片真空镀膜设备使用方法

[实用新型]一种真空镀膜机的工件支架-CN202320161910.2有效
发明人：刘晓慧;温小媚;黄汉红 -专利权人：惠州市远铭扬塑胶真空科技有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空镀膜机的工件支架，包括固定板，所述固定板的上表面固定有壳体，所述壳体的内部设有旋转机构，所述旋转机构上设有四个固定块，所述固定块上设有固定机构，所述固定块的内部滑动连接有顶板，所述顶板的正面铰接有底板，所述固定机构包括固定于左右两个固定块内腔相对一侧的限位块和开设于左右两个顶板相对一侧的限位槽，所述第一凹槽内腔的上下两侧之间固定有两个固定杆。该真空镀膜机的工件支架，通过设置的固定机构，按压推杆，带动移动板和卡块移动并挤压弹簧，将限位槽与限位块相连后，松开推杆，移动板复位，卡块卡入卡槽中，对顶板和底板进行安装，反之即可对其进行快速拆装，操作简单，效率更高。
一种真空镀膜工件支架

[实用新型]镀膜用治具及镀膜设备-CN202223134034.9有效
发明人：戴乾 -专利权人：武汉正源高理光学有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请属于镀膜技术领域，具体涉及一种镀膜用治具及镀膜设备。一种镀膜用治具，应用于带通孔的产品镀膜，包括法兰盘、第一齿轮和转轴。第一齿轮与所述法兰盘转动连接；转轴与所述法兰盘转动连接，所述转轴配置有第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮齿合，所述转轴被配置为能够插入所述产品的通孔并带着所述产品转动。上述镀膜用治具包括安装在法兰盘上的第一齿轮和转轴，通过第一齿轮配合第二齿轮驱动转轴旋转，从而带着转轴上的产品转动，实现产品的均匀镀膜。
镀膜用治具设备

[实用新型]易装卸样品托及真空系统-CN202223424469.7有效
发明人：谢斌平;陈飞;王天邻 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开提供了一种易装卸样品托及真空系统。样品托，包括：托盘，包括至少一个托盘槽，用于容纳样品框；所述托盘槽靠近所述托盘槽开口位置的内壁上设置有相对的第一安装槽和第二安装槽；弹性件，用于放置于所述第一安装槽和第二安装槽中，基于弹性形变向位于托盘槽中的样品框施加弹力，实现样品框的固定。真空系统，包括真空腔，以及本公开提供的易装卸样品托，设置在所述真空腔内。
装卸样品真空系统

[实用新型]一种用于镜片镀膜用夹具-CN202222859506.0有效
发明人：郭向朝;李龙;吴海平;韦颂玉 -专利权人：苏州合投光电科技有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镜片镀膜用夹具，包括镜片放置盒，镜片放置盒内腔的中部安装有隔板，隔板的左右两端均安装有主转轴，主转轴的侧壁均转动安装有主镜片托板，镜片放置盒的左右两侧壁均开设有通槽，通槽内滑动安装有顶板，顶板的侧壁安装有副转轴，副转轴的侧壁转动安装有副镜片托板，顶板与隔板之间夹持有镜片，本装置通过设置主镜片托板与副镜片托板对镜片进行承托，从而避免因夹持力较小而导致的镜片掉落，还可避免因夹持力较大而导致的镜片破损，另外本装置还通过在其镜片放置盒的上方设置了可滑动的挡板，使其能够对除镜片上方的位置进行遮挡，避免将不该镀膜的位置进行镀膜。
一种用于镜片镀膜夹具

[实用新型]透镜批量真空镀膜夹具-CN202222889773.2有效
发明人：宋杉 -专利权人：武汉特光科技有限公司
申请日： 2022-10-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及透镜批量真空镀膜夹具，包括装载机构，其包括安装组件和夹具本体，所述安装组件以所述夹具本体为中心对称设置，所述安装组件的内部开设有滑孔，摆正机构，其包括滚压组件和压平组件，其中，滚压组件，其通过所述滑孔设置于所述安装组件之间，压平组件，其设置于所述安装组件之间，并位于所述夹具本体上方，通过滚压组件与安装组件的配合，可通过推动滚压组件沿滑孔在安装组件内运动，在途经夹具本体下方时，配合透镜上方的压平组件，使得夹具上的透镜被滚压组件顶起，由压平组件限制调平，最后回落到夹具本体上，实现了批量生产透镜进行全部调平，进行透镜表面全面镀膜，减少了生产过程中瑕疵品产生的数量。
透镜批量真空镀膜夹具

[实用新型]一种立式镀膜机用产品挂具-CN202223235646.7有效
发明人：许理清 -专利权人：宁波美韬新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立式镀膜机用产品挂具，其特征在于：包括一根竖杆、两根横杆、两个固定柱、多根挂杆和多个挂盘，两根横杆设置于竖杆的两端，固定柱设置于横杆的外端并和竖杆平行，挂杆间隔设置于竖杆上，挂盘设置于挂杆的外端，挂盘的重心落在固定柱的轴线上。本实用新型提供了一种立式镀膜机用产品挂具，便于产品在立式镀膜机内进行悬挂和排布，具有操作方便、一次性可镀膜量大的特点。
一种立式镀膜产品

[实用新型]一种插拔式红外加热样品托-CN202221432456.1有效
发明人：李琳;韦尚潮;廖昭胜 -专利权人：安徽外延科技有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种插拔式红外加热样品托，包括样品托主架，样品托主架上方设置旗形样品托插槽部，样品托主架的下方设置插拔底座，所述的旗形样品托插槽部包括左右对称设置的一对弹性限位卡槽，弹性限位卡槽中设置弹性卡片。采用本实用新型使得旗形样品托拆换方便且装置稳定性也高。
一种插拔式红外加热样品

[实用新型]一种PVD镀膜夹具-CN202222509449.3有效
发明人：张彦峰;赵睿;杨武;李晓峰;鲁熙;侯湘铭 -专利权人：深圳市和胜金属技术有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PVD镀膜夹具，其包括固定座、夹具装置、第一转动平台、第二转动平台以及第三转动平台；夹具装置设置在固定座上；第一转动平台与固定座顶端转动连接；第二转动平台位于第一转动平台顶端周侧，且第二转动平台与第一转动平台顶端转动连接；第三转动平台与第二转动平台顶面连接，且第三转动平台与夹具装置连接。本实用新型的以便于夹具装置上的工件进行全面的PVD镀膜处理，可以实现放置在夹具装置上的工件三级旋转，提高了工件的PVD镀膜效率，同时能够提高工件镀膜的均匀性，从而又能保证工件PVD镀膜质量。
一种 pvd 镀膜夹具

[实用新型]一种燃料电池金属双极板双面镀膜夹具-CN202320066004.4有效
发明人：吴勇;陶冠羽;陈辉;杜建融;夏春怀;杨甫;孙清云;夏思瑶;曾路 -专利权人：武汉材料保护研究所有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种燃料电池金属双极板双面镀膜夹具，包括固定框，所述固定框上设有能够沿所述固定框滑动的滑块，所述滑块上设置有用于固定双极板的固定环。本实用新型在固定框上安装可滑动的滑块，通过滑块的滑动调节固定环位置，使得固定环与双极板上的小孔相对应，再利用挂钩同时穿过双极板和固定环便可实现夹装固定，不但装卸方便，提高加工效率，保障了镀膜的完整性和质量，而且能够实现对具有不同孔位的金属双极板进行夹装。
一种燃料电池金属极板双面镀膜夹具

[发明专利]一种大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置-CN202210048058.8有效
发明人：祝海生;胡聪芳;彭涛;陈立;凌云;唐莲;金诚明;黄乐;李俊杰;孙桂红;梁红 -专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置，包括底板，设置在底板下表面用于支撑整个所述玻璃基片角度调节装置的底座，固定于所述底板的后壁，固定于所述后壁上的顶板，所述底板、后壁和顶板构成开口状，固定于后壁的后壁丝杆导轨机构，所述连接杆的另一端连接所述后壁丝杆导轨机构；固定于顶板的顶部丝杆导轨机构，所述顶部丝杆导轨机构表面固定有上轮辊机构；固定于所述上轮辊机构和所述下轮辊机构之间的基片；其中，所述后壁丝杆导轨机构和所述顶部丝杆导轨机构以预设的行程比使得所述上轮辊机构和所述下轮辊机构以确定角度调节的进行。
一种大面积真空镀膜玻璃角度调节装置

[实用新型]一种增韧塑料的PBT真空镀膜机-CN202223189189.2有效
发明人：浦东云;宋国新 -专利权人：金源康（惠州）实业有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：实用新型公开了一种增韧塑料的PBT真空镀膜机，包括镀膜机箱体和其内部设置的靶材，靶材下方设置有固定底座，所述固定底座上设置有弹性吸杆，弹性吸杆内设置有活动吸头，当基片需要安装调试时，弹性吸杆可伸缩至贴合基片表面，同时固定底座内设置有调节轮，当基片调整好固定位置时，可通过旋转调节轮实现卡死弹性吸杆，活动吸头具有负压吸附固定基片，解决了传统镀膜机的固定底座为单一样式，无法兼容多款样式的基片问题，同时基片在安装过程中实现了可零时改变基片的安装角度和位置，降低了工艺调试的成本，对工艺优化提供了便捷性，基片安装时有弹性缓冲，减少了基片的磕伤，基片和底座通过活动吸头定位，保证贴合度的同时也防止了划伤。
一种塑料 pbt 真空镀膜

[实用新型]一种用于真空镀膜机的新型自公转机构-CN202223065348.8有效
发明人：黄子建;何武林;薛海 -专利权人：成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于提供一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，解决传统的自公转机构无法满足每一个工件在镀膜过程中均能实现自转的问题。其包括挂筒组件、固定组件、转动组件和工件夹具，所述挂筒组件包括限位支架、挂筒、轴承座、支撑环、轴承，所述固定组件包括固定环、固定支架和连接螺杆，所述转动组件包括转动环、转动支架和支撑螺杆，所述工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上。本实用新型适用于一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。
一种用于真空镀膜新型公转机构