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[发明专利]一种晶圆减薄磨削力在线测量装置及方法-CN201811194797.8有效
发明人：秦飞;张理想;赵帅;陈沛;安彤;代岩伟 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆减薄磨削力在线测量装置及方法，属于半导体晶圆材料超精密加工领域。该磨削力测量装置包括半导体晶圆、工作台、承载台、薄膜压力传感器、数据处理与无线传输模块。磨削力的测试方法包含基于测试装置的传感器标定与磨削力在线测量。利用本发明提供的磨削力测量装置及方法，可以实时监测半导体晶圆磨削过程中的磨削力，对半导体的加工，降低磨削损伤具有重要意义。本发明具有如下特点：传感器采用薄膜压力传感器，响应时间短，测试精度高；数据的传输采用无线传输设计，能够在晶圆和主轴旋转过程中对磨削力进行实时监测，避免晶圆旋转绕线的风险；传感器采用分布式设计，能够监测磨削力沿晶圆径向，晶向的分布。
一种晶圆减薄磨削在线测量装置方法

[实用新型]一种电极帽修磨检验工具-CN201920815674.5有效
发明人：郭龙飞;党育强;伦福来;徐福运;耿伟强 -专利权人：鹤壁天汽模汽车模具有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电极帽修磨检验工具，包括下底座，所述下底座上方设有上底座，所述下底座和上底座之间的左侧焊接有固定检验板，所述下底座的上表面设有下定位销，所述上底座的下表面设有上定位销，所述下定位销和上定位销的轴在同一中心上线，所述下定位销和上定位销上分别设有下电极帽和上电极帽，所述下底座和上底座的对面上右侧分别设有导轨，本实用新型是采用特殊形状的钢板加工成，比对电极帽的外形的方法，通过直观的方式来对电极帽修磨情况进行确认，避免了人员目视评比的缺陷，通过测量尺能精确的测出误差值，增加的红外线让测量更加准确方便，实现了现场检测方式的统一及规范化。
一种电极帽修磨检验工具

[发明专利]一种复杂型面超硬砂轮圆跳动检测装置及方法-CN201910644945.X有效
发明人：冯克明;赵金坠 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种复杂型面超硬砂轮圆跳动检测装置及方法，检测装置包括基准座，所述基准座内部安装有可相对基准座进行沿复杂型面超硬砂轮轴向移动和径向移动的滑动平台，滑动平台和基准座之间安装有浮动机构，所述滑动平台外部设有测量滑动平台沿复杂型面超硬砂轮轴向移动和径向移动的测试仪器，所述滑动平台上安装有与复杂型面超硬砂轮配合安装的标准样轮；本发明综合、全面、准确、快捷地反映复杂型面超硬砂轮的二维跳动状况，对于复杂型面超硬砂轮进行修整，提供相关参考从而提高工件的精度。
一种复杂型面超硬砂轮跳动检测装置方法

[实用新型]一种数字化调速控制的气动磨抛装置-CN201920730097.X有效
发明人：陈凡;王培成;张锲;王晓锋 -专利权人：清博（昆山）智能科技有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种数字化调速控制的气动磨抛装置，其包括装置外壳、开设在所述装置外壳上的进气孔以及设置在所述装置外壳内的驱动机构，气动磨抛装置还包括设置在所述装置外壳内的控制电路、电磁比例调速机构以及测速机构，所述电磁比例调速机构与所述进气孔相连，所述测速机构安装在所述驱动机构上，所述电磁比例调速机构和测速机构均与所述控制电路通过线缆电连接，所述控制电路连接外部电源。本实用新型的一种数字化调速控制的气动磨抛装置，将控制电路、调速机构以及测速机构集成于气动磨抛装置内部，集成化程度高，给使用者带来了便利。
一种数字化调速控制气动装置

[实用新型]研磨机用砂带长度测量装置-CN201921877743.1有效
发明人：袁斌;郁慧鑫 -专利权人：常州先哲精密电气装备有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种研磨机用砂带长度测量装置，包括砂带，砂带张紧在传动套筒上，还具有砂带传动轴，传动套筒套装设置在砂带传动轴的一端，砂带传动轴的另一端具有走位检测构件，包括走位检测盘、光电传感器和传感器安装架。本实用新型结构合理，能够避免砂带长短不一对研磨产生的不良效果，避免浪费。
研磨机用砂带长度测量装置

[发明专利]一种叶片磨削烧伤信息融合与特征提取方法及装置-CN202010044861.5在审
发明人：严思杰;刘奇;徐小虎;白贺彬;丁汉 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种叶片磨削烧伤信息融合与特征提取方法，具体包括：利用多传感器建立磨削监控系统；根据预设的不同磨削加工参数对所述叶片进行机器人磨抛加工；通过所述监控系统采集磨削烧伤多传感信息，以获得不同加工参数下的磨削烧伤多传感信息；对所述磨削烧伤多传感信息进行信息融合与特征提取；通过对比所述不同加工参数下的磨削烧伤多传感信息确定与预设标准相符合的特征值作为磨削烧伤不变性特征值。通过上述方案，能够实现对于复杂曲面机器人加工的全面监控，从而有效保证叶片机器人加工的质量。并且能够有效的提取叶片机器人砂带磨削烧伤不变性特征，避免了因加工参数改变而引起的磨削烧伤误判，进一步保证了叶片加工效率和质量。
一种叶片磨削烧伤信息融合特征提取方法装置

[实用新型]一种数控机床上改装装置-CN201921540510.2有效
发明人：朱再文 -专利权人：东莞市的美模具有限公司
申请日： 2019-09-16 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种数控机床上改装装置，包括控制箱，所述控制箱的顶部安装有支撑底座，所述支撑底座的底部与所述控制箱的顶部连接，所述支撑底座的顶部安装有支撑板，所述支撑板的底部与所述支撑底座的顶部连接，所述支撑板的上方一端安装有作业机构，所述支撑板远离所述作业机构的一端安装有研磨杆，所述研磨杆的一端安装有固定板，所述固定板远离所述研磨杆的一侧安装有研磨电机，所述研磨电机的输出轴贯穿所述固定板且与所述研磨杆连接；滑槽内的伸缩控制机构进行伸缩控制，且通过液压弹簧杆进行支撑伸缩，便于进行对研磨电机进行滑动控制，提高了作业的效果，同时对滑动进行控制距离，提高加工的效果。
一种数控机床改装装置

[实用新型]一种端面磨机床-CN201921590609.3有效
发明人：胡文强 -专利权人：上海玖蓥智能科技有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种端面磨机床，包括机床主体，所述机床主体上设置有用于检测机床主体的切削砂轮的磨损状况的间隙传感器。本实用新型，不需要人工来确定切削进给量，效率高，降低了工作量。
一种端面机床

[实用新型]一种基于多传感器组合的铸件种类识别装置-CN201921711538.8有效
发明人：刘天宝;傅朝斌;邓嵛曦;吴樟洪;辜晓飞;胡雨彤;杨继明;刘祥 -专利权人：重庆机电智能制造有限公司
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型属于铸件打磨技术领域，具体公开了一种基于多传感器组合的铸件种类识别装置，包括打磨台、压紧组件、限位组件和检测组件，压紧组件用于将铸件压紧，限位组件用于对铸件进行限位，检测组件包括分别与控制中心电连接的第一检测组件、第二检测组件、第三检测组件和第四检测组件，第一检测组件用于检测宽度为150mm的前部铸件和后部铸件；第二检测组件用于检测宽度为155mm的前部铸件和后部铸件，第三检测组件用于检测宽度为200mm且有凸台的前部铸件及后部铸件；第四检测组件用于检测所有前部铸件、宽度为180mm和200mm的前部和后部铸件。具有上述结构的识别装置，能够解决现有技术中由于铸件种类规格较多，造成的铸件精确定位困难的问题。
一种基于传感器组合铸件种类识别装置

[发明专利]一种双耳粘接托板螺母打磨范围检查方法及工具-CN201811394759.7在审
发明人：王浩;何凤涛;张在学;樊西锋;薛松;王维;王攀;平晓东 -专利权人：成都飞机工业（集团）有限责任公司
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明提供一种双耳粘接托板螺母打磨范围检查方法及工具，以双耳粘接托板螺母安装孔为圆心，双耳粘接托板螺母外轮廓为直径构造圆弧形的底板；将圆弧板以双耳粘接托板螺母安装孔为圆心旋转，在旋转过程中各个位置处机体结构上的打磨范围应超出了底板的外轮廓。本发明的检查工具，包括底板，手柄和插销；底板外轮廓与双耳粘接托板螺母底面外轮廓相同，且尺寸为双耳粘接托板螺母底面外轮廓加2mm；手柄和插销分别位于底板上下两侧的旋转中心，插销与双耳粘接托板螺母安装孔直径相同。本发明对机体结构上打磨的区域可以快速、准确的进行检查，替代了人工目视检查，操作简单，检查效果真实可靠，效率高。
一种双耳粘接托板螺母打磨范围检查方法工具

[发明专利]一种玻璃磨边机以及玻璃尺寸测量方法-CN202010071229.X在审
发明人：黄海 -专利权人：广东金玻智能装备有限公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃磨边机，包括：机架、滚动传送装置、定位装置和测量装置。所述各个装置都与所述机架连接，滚动传送装置设有传送平面，定位装置包括固定轮组件和升降定位轮组件，固定轮组件与所述机架固定连接，升降定位轮组件与所述机架活动连接，测量装置包括驱动组件和检测组件，驱动组件以及检测组件滑动安装于所述机架，检测组件设有光栅读磁头，机架上设有与所述光栅读磁头对应的光栅磁条。本发明还公开了一种基于该玻璃磨边机的玻璃尺寸测量方法，通过将检测组件抵在玻璃边缘上，再用光栅读磁头进行尺寸测量。本发明避免了传统测量方法的误差，使得玻璃尺寸的测量更为准确，为玻璃的加工提供了便利。本发明可应用于玻璃加工生产中。
一种玻璃磨边以及尺寸测量方法

[实用新型]一种断续磨削加工主动测量装置及其活塞阻尼结构-CN201921705931.6有效
发明人：李旭杰 -专利权人：三门峡源美检测仪器有限公司
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种断续磨削加工主动测量装置的活塞阻尼结构，包括可安装在密封盒体内的第一阻尼机构和第二阻尼机构，盒体内填充有硅油；第一阻尼机构的一端可与测杆通过传动部件相连，第一阻尼机构的另一端设有活塞头，第一阻尼机构上还设有第一阻尼板，第二阻尼机构的一端可与另一个测杆通过传动部件相连，第二阻尼机构的另一端设有与活塞头配合的活塞筒，第二阻尼机构上还设有第二阻尼板。本申请通过设置具有活塞头、活塞筒及阻尼板的活塞阻尼器，当夹持具有断续表面特征的回转类待测工件的两个测杆振动时，密封盒体内的硅油会增大活塞头进出活塞筒的阻尼、增大阻尼板运动的阻力，减小测杆的振动幅度，能有效提高测量精度。
一种断续磨削加工主动测量装置及其活塞阻尼结构

[发明专利]一种刀具参数检测机构及方法-CN201810556906.X有效
发明人：于保华;胡小平;叶红仙;黄志伟;高鹏;康茜;汤沁民 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2018-06-01 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明涉及磨刀机技术领域，具体涉及一种刀具参数检测机构及方法，刀具参数检测机构用于安装在数控磨刀机的数控滑台上，包括固定在数控滑台上的安装底板、滑台机构、第一检测件和第二检测件，所述第一检测件和所述滑台机构均固定设置在所述安装底板上，第一检测件位于所述滑台机构的一侧，所述第二检测件安装于所述滑台机构上，第二检测件在滑台机构的驱动下可相对安装底板运动。有益效果是：刀具参数检测机构可安装于数控磨刀机的数控滑台上，方便控制并获取刀具的参数，实现铣刀、丝锥、钻头、匕首等典型刃面的参数化编程及运动译码控制。本发明还综合考虑了数控磨刀机各机构的运转空间，第二检测件根据是否工作可相对安装底板收缩或展开。
一种刀具参数检测机构方法

[发明专利]抛光盘温度控制系统-CN201910026239.9有效
发明人：张为强;李伟;尹影;王嘉琪;刘一鸣;胡玥 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明涉及CMP抛光盘温度控制技术领域，尤其是涉及一种抛光盘温度控制系统，包括抛光盘、循环水路、温度检测装置和调控装置；循环水路包括上水管路和回水管路，上水管路的数量为多个，多个上水管路分别对应抛光盘不同区域，回水管路与上水管路一一对应且连通；温度检测装置检测回水管路回水温度和抛光盘表面温度；调控装置接收温度检测装置检测到的温度信号，控制上水管路向抛光盘供应的冷却水的温度和流量。本申请通过在抛光盘上分设不同区域，并在各区域设置独立的上水管路和回水管路，对各区域回水管路的温度进行监测，控制上水管路的上水温度和流量，实现对不同温度区域的适应性温度调控，使得抛光盘冷却均匀，保证了晶圆的抛光质量。
抛光温度控制系统

[发明专利]平面磨削工件表面粗糙度计算方法-CN201810553684.6有效
发明人：姜晨;程金义;张瑞;高睿 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种平面磨削工件表面粗糙度计算方法，首先采集磨削过程中的声发射信号，并对该信号进行滤波处理；接着通过傅里叶变换提取滤完干扰信号后的声发射信号的谐波频率及对应的振幅；然后通过工件最终表面形貌是砂轮对工件多次磨削叠加效果的总和，并结合谐波频率和振幅建立工件表面形貌轮廓轨迹方程；最后将该轮廓方程带入到粗糙度理论计算公式中来计算工件的表面粗糙度。该计算方法克服了现有平面磨削工件对粗糙度仪的依赖，通过收集磨削过程中的声发射信号来计算工件的表面粗糙度，为实际生产带来了巨大帮助。
平面磨削工件表面粗糙计算方法