[发明专利]具有氧化锌辐射热测量元件的辐射热测量器无效

专利信息
申请号: 98814335.6 申请日: 1998-11-27
公开(公告)号: CN1327533A 公开(公告)日: 2001-12-19
发明(设计)人: 龙润重 申请(专利权)人: 大宇电子株式会社
主分类号: G01J5/20 分类号: G01J5/20;H01L31/0216
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 蹇炜
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 氧化锌 辐射热 测量 元件 测量器
【权利要求书】:

1、一种红外线辐射热测量器,包括:

一个有源阵列层,包括一个基片和至少一对连接端;

一个支撑层,它设置有至少一对桥路,每一桥路包括一导电线,该导电线的一端电连接至相应的连接端;

一个吸收层,包括一个周围环绕有吸收器的氧化锌(ZnOx)辐射热测量元件;及

至少一对接线柱,每一接线柱被设置在该吸收层和该支撑层之间,并包括周围环绕绝缘材料的电导线管,该吸收层的辐射热测量元件的每一端通过相应的电导线管和相应的导电线而电连接至相应的连接端。

2、根据权利要求1所述的辐射热测量器,其中,该氧化锌辐射热测量元件的厚度为100至10μm。

3、根据权利要求1所述的辐射热测量器,其中,克分子比(x)的范围为0.5至1.5。

4、根据权利要求1所述的辐射热测量器,其中,该吸收层还包括反射层和红外线吸收器覆盖层。

5、根据权利要求4所述的辐射热测量器,其中,该反射层设置在该吸收器的底部。

6、根据权利要求5所述的辐射热测量器,其中,该反射层由铝制成。

7、根据权利要求4所述的辐射热测量器,其中,红外线吸收器覆盖层设置在该吸收器的上部。

8、根据权利要求1所述的辐射热测量器,其中,该导电线和该电导线管由金属制成。

9、根据权利要求8所述的辐射热测量器,其中,该导电线和该电导线管由铝、铂或钛制成。

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