[实用新型]陶瓷电容型等离子体发生片

权利要求书

1、陶瓷电容式等离子体发生片，其特征在于它是由陶瓷基片1、放电电极2、大电极3、放大电极焊点4、大电极焊点5组成。其中陶瓷基片1选择介常数为60-80，介质损耗系数＜1×10-6、厚度＝0.6mm的高纯度AL₂O₃陶瓷为基片：放电电极2的材料选用半导体材料及粘和烧结材料，具体配方为：二氧化硅-15％、二氧化钼-8％、二氧化镁-5.5％、氧化锆-6.5％、氧化铅-4％、二氧化锡-12.5％、乙基纤维素-30％、松油醇-15％、硼硅玻璃粉-3.5％，将上述材料按配比混合研磨后，制成电子浆料，采用印刷的手段将电子浆料印在陶瓷基片1正面上，并科印成所需要的图形，放电电极2应比陶瓷基片1背部大电极3周边尺寸小2-3MM；大电极3材料，采用钯银为主成份，配制电子浆料，具体配方为：钯-3.5％、银-40％、乙基纤维素-42％、松油醇-10.5％、硼硅玻璃粉-3.5％，将上述材料按配比混合研磨后，制成电子浆料，采用印刷的手段将电子浆料印在陶瓷基片1背面上，并科印成所需要的图形，陶瓷基片1正反面印好放电电极2和大电极3后，经过高温(855℃)烧结后，陶瓷基片1和两面的放电电极2、大电极3结合为一体，且具有极强的附着力，而放电电极2经高温氧化还原后，成为半导体式电极；放电电极焊点4和大电极焊点5采用低温点焊法加工可焊性较强的焊点。