[发明专利]气相合成金刚石的方法无效
| 申请号： | 94110656.X | 申请日： | 1994-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN1041445C | 公开（公告）日： | 1998-12-30 |
| 发明（设计）人： | 李惠琪;李惠东;霍万库;吴玉萍;张桂玲 | 申请（专利权）人： | 山东矿业学院 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26 |
| 代理公司： | 山东省高等院校专利事务所 | 代理人： | 戚爱华 |
| 地址： | 271019 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 相合 金刚石 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种气相合成金刚石的方法，其特征在于以液化石油气为碳源，以氩气和氢气为工作气体，使用CN93109966.8专利的大喷口直径等离子炬，将所述液化石油气从所述的等离子炬的阳极喷嘴下方0～30毫米范围内吹入。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中所述的氩气流量范围为每分钟10～25标准升(SLM)，氢气流量范围为每分钟1～4标准升(SLM)，液化石油气流量范围为氢气的1％～10％。
3.根据权利的要求1或2所述的方法，其特征在于所述的氩气流量范围是每分钟15～20标准升(SLM)，氢气流量范围是每分钟2～3标准升(SLM)，液化石油气流量范围是氢气的3％～6％。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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