[发明专利]表面三维形貌非接触测量仪

权利要求书

1、一种由光源、显微物镜、目镜、光电面阵探测器等组成的表面三维形貌非接触测量仪，其特征在于所述的测量仪还包括起偏器、分光棱镜、1/4波片和检偏器，所述的光源发出的光由所述的起偏器变成线偏振光后进入所述的分光棱镜，分光棱镜将线偏振光分为两束具有微小夹角并且振动方向相互垂直的线偏振光，两束光通过所述的物镜后产生一平行的剪切量△x，这两束光被样品表面反射后经原路返回，由所述的分光棱镜重新复合共线，然后再穿过所述的1/4波片和所述的检偏器发生干涉，干涉场的光强信号由所述的光电面阵探测器进行接收，通过所述的目镜直接观察干涉图象。