[其他]扫描电子显微镜多功能加载样品台

说明书

本实用新型涉及扫描电子显微镜上的加载样品台，特别涉及一种扫描电子显微镜多功能加载样品台。

扫描电镜是电子光学仪器领域内的一种重要设备，在材料、机械、医学等科技和工业领域中获得广泛应用。通过对固定在样品台上的样品加载，可以观察到样品（即材料）在受力状态下的复杂变化过程，从而进行动态分析。现有的英国剑桥公司制造的扫描电镜样品台，利用双步进马达，通过蜗轮蜗杆传动，带动模板及其上的样品夹头，对固定在样品夹头上的样品作拉伸或压缩加载，同时对样品进行扫描观察，以及通过传感器将样品的状态参数检测输出（表头指示）。这种样品台加载方式单一，只能进行拉伸加载或压缩加载。加载方式变换时需将样品台及连带的模板全部调换，调换工序繁复，时间长，且换下的部件不易保管。另外，其信号输出只能表头指针显示，对于一些变化的细节不易观察出，且不能进行参数记录。

本实用新型的目的是为了提供一种能对样品进行拉伸，压缩，弯曲，剪切和冲压加载的多功能加载样品台，扫描电镜使用这种多功能加载样品台就有可能对各种负载方式的实际过程进行有效的模拟，达到切合实际的动态观察目的。

本实用新型的进一步目的是在扫描电镜上再配备一函数记录装置，将所测得的状态参数记录下来，以便与所观察到的对应形貌进行综合分析。

本实用新型的目的是通过下述方式实现的，一种扫描电镜多功能加载样品台包括一双步进马达对称加载系统，一对由双步进马达对称加载系统驱动而能作相对运动的样品台底板，一对分别可拆卸地安装在各样品台底板上的、用来固定试样夹头的模板，以及安装在模板上的、给传感器发信号的传送杆。其中，一种用来进行丝材拉伸试验的第二试样夹头能固定在所述的模板（即第一模板）上，第二试样夹头是两对、其中各对的形状与第一模板上的装模凹槽形状配合并可拆卸地安装在装模凹槽里的压板，各对压板接触面的中间的对应位置上都有一条V型槽；或者，所述的模板是一种能固定剪切（冲压）模，表面弯曲（压缩）模和截面弯曲模的第二模板，第二模板是一对呈角尺形的模板，其中各水平长边上有若干定位通孔，各水平长边的后表面有一水平凸缘，而各垂直短边的前表面上有一凸块，凸块的上侧各有两个安装传送杆的螺孔，各垂直短边的前表面上还有一安装前述各种模具、并使模具的一侧紧靠着凸块的一侧的安装面。

本实用新型还进一步包括一个能将传送杆发给传感器的信号以函数形式记录下来的记录装置。

本实用新型的优点是提供了一种能对样品进行拉伸、压缩、弯曲、剪切和冲压加载的多功能加载样品台，扫描电镜使用这种样品台就扩大了它的使用功能，从而有可能对各种负载方式的实际过程进行有效的模拟，达到切合实际的动态观察目的。而且能将测得的状态参数记录下来，以便与所观察到的对应形貌进行综合分析。

下面将结合附图对本实用新型的实施例作详细的说明：

图1是加载样品台结构图；

图2是第一模板中的上模板正视图；

图3是图2所示结构的右视图；

图4是第一模板中的下模板正视图；

图5是图4所示结构的左视图；

图6是第一试样夹头的正视图；

图7是图6所示结构的底视图；

图8是一对第二试样夹头的正视图；

图9是图8所示结构的顶视图；

图10是第二模板中的、带一块截面弯曲凸模的上模板正视图；

图11是图10所示结构的顶视图；

图12是第二模板中的、带一块截面弯曲凹模的下模板正视图；

图13是图12所示结构的顶视图；

图14是剪切（冲压）模的正视图；

图15是沿图14A－A线的剖视图；

图16是表面弯曲（压缩）模的正视图；

图17是图16所示结构的顶视图。

参看图1，扫描电镜的样品台1上滑动地安装着一对底板－上底板2和下底板3，底板2和3在一双步进马达对称加载系统（未示）驱动下能作相对（相向或相背）运动。双步进马达对称加载系统中心位移小，负载能力高，且可随意调整加载卸载的速率和方向。工作时，底板及固定在其上的模板和模具等置入扫描电镜的样品室中。

上底板2的前表面上有一定位凹槽4，前表面的下部有若干定位螺孔5。下底板3的前表面上也有一定位凹槽6，前表面的上部也有若干定位螺孔7。上底板2的前表面和下底板3的前表面位于同一平面上。上底板2和下底板3在与它们的运动方向垂直的方向上平行间隔一段距离。

在图1中，上底板2的前表面上固定安装着第一模板中的上模板8，下底板3的前表面上固定安装着第一模板中的下模板9。第一模板是在已有技术中使用的模板。