[其他]多工作模式的液态金属聚焦离子枪无效
| 申请号： | 85202460 | 申请日： | 1985-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN85202460U | 公开（公告）日： | 1986-04-16 |
| 发明（设计）人： | 华明达;周风声;王亦曼;张贻英 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学;电子工业部北京第12研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京师范大学专利事务所 | 代理人： | 吴圣谷,邢同琪 |
| 地址： | 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工作 模式 液态 金属 聚焦 离子 | ||
【权利要求书】：
1、一种以改变阳极针〔1〕与引出电极〔3〕和〔5〕的相对位置而决定工作模式的液态金属聚焦离子枪，其特征是，电极〔3〕和〔5〕是固定的，阳极针〔1〕连接到滑杆〔10〕上，而滑杆〔10〕又在支座〔9〕中沿Z轴可作大幅度滑动。
2、根据权利要求1所说的离子枪，其特征在于所说的沿Z轴上作大幅度滑动的阳极针尖与Z轴的同心度是由三个螺丝〔12〕去顶动支座〔9〕来保证的。
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