[其他]用于真空沉积镀层的方法和装置

权利要求书

1、一种用于真空沉积镀层的方法，包括使用真空沉积镀层的装置，该装置包括：设在真空沉积镀层室前面的一入口侧真空密封装置，设在上述入口侧真空密封装置和一退火炉之间的一入口侧不活泼气体置换室，设在上述真空沉积镀层室后面的一出口侧真空密封装置，设在上述出口侧真空密封装置与大气之间的一出口侧不活泼气体置换室，用于使不活泼气体从上述两个真空密封装置的真空室循环到上述两个真空密封装置的大气压力室、及用于从不活泼气体中分离出水、油和氧的不活泼气体循环/纯化装置；上述用于真空沉积镀层的方法，其特征为，将纯化后不活泼气体中氧的浓度调整为60ppm或更低，氢的浓度调整为0.2～2.0%，将不活泼气体的露点调整为-50℃或更低。

2、一种用于真空沉积镀层的方法，包括使用真空沉积镀层的装置，该装置包括：设在真空沉积镀层室前面的一入口侧真空密封装置，设在上述入口侧真空密封装置和一退火炉之间的一入口侧不活泼气体置换室，设在上述真空沉积镀层室后面的一出口侧真空密封装置，设在上述出口侧真空密封装置与大气之间的一出口侧不活泼气体置换室，用于使不活泼气体从上述两个真空密封装置的真空室循环到上述两个真空密封装置的大气压力室、及用于从上述不活泼气体中分离出水、油和氧的不活泼气体循环/纯化装置;上述用于真空沉积镀层的方法，其特征在于，调整上述退火炉中压力p₁至大气压或更高，调整上述入口侧不活泼气体置换室中压力p₂至大气压或更高，调整上述出口侧不活泼气体置换室中压力p₃至大气压或更高，调整p₁-p₂的值为0mm水柱或更高，调整上述入口侧不活泼气体置换室中氢的浓度为2.0%或更低。

3、一种用于真空沉积镀层的装置，其特征在于包括：设在真空沉积镀层前面的入口侧真空密封装置：设在上述入口侧真空密封装置与一退火炉之间的入口侧不活泼气体置换室;设在上述真空沉积镀层室后面的出口侧真空密封装置;设在上述出口侧真空密封装置与大气之间的出口侧不活泼气体置换室;用于使不活泼气体从上述两个真空密封装置的真空室循环到上述两个真空密封装置的大气压力室、及用于从上述不活泼气体中分离出水、油和氧的不活泼气体循环/纯化装置;设在上述退火炉上的一压力表;设在上述入口侧不活泼气体置换室上的一压力表，一控制阀，一自动阀，一氢浓度检测器及一排气阀;设在上述出口侧不活泼气体置换室上的一压力表及一自动阀;设在上述两个真空密封装置的大气压力室上、用于紧急情况而连接到不活泼气体罐的一自动阀。