[实用新型]一种基于VI探测器的阻抗匹配器有效

专利信息
申请号: 202320804243.5 申请日: 2023-04-11
公开(公告)号: CN219372400U 公开(公告)日: 2023-07-18
发明(设计)人: 杨洋;刘玲 申请(专利权)人: 焱行科技(上海)有限公司
主分类号: H03H7/52 分类号: H03H7/52;G01R27/08
代理公司: 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 代理人: 有峥嵘
地址: 201800 上海市嘉定区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 vi 探测器 阻抗 配器
【权利要求书】:

1.一种基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,包括:VI探测器、数据采集及处理单元、阻抗匹配模块和调节单元;

VI探测器测量负载端的特征阻抗值;

所述数据采集及处理单元根据所述特征阻抗值计算所述阻抗匹配模块需达到的目标阻抗值,并根据所述阻抗值下达编码指令至所述调节单元;

所述调节单元根据所述编码指令控制所述阻抗匹配模块达到目标阻抗值。

2.根据权利要求1所述的基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,所述阻抗匹配模块包括:至少一个可变真空电容和可变电感。

3.根据权利要求2所述的基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,所述调节单元包括至少一个步进电机,任一所述步进电机根据所述编码指令调节任一所述可变真空电容的电容值。

4.根据权利要求1所述的基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,所述VI探测器还与所述数据采集及处理单元相连;

射频输入信号通入所述VI探测器进行所述特征阻抗值的测量后,输入至所述阻抗匹配模块,完成阻抗匹配后输出。

5.根据权利要求1所述的基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,所述数据采集及处理单元包括FPGA处理器。

6.根据权利要求1所述的基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,所述VI探测器中包括耦合腔、运算放大及模数转换单元、数据处理单元和耦合器;

所述耦合腔将射频输入信号传递至所述耦合器内,所述耦合器根据所述射频输入信号生成耦合信号,并将所述耦合信号传递至所述运算放大及模数转换单元,所述运算放大及模数转换单元采样所述耦合信号,并对所述耦合信号进行运算放大及模数转化后,将所述耦合信号传输至所述数据处理单元进行数据处理,得到所述负载端的特征阻抗值。

7.根据权利要求1所述的基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,快速阻抗匹配器内还设有散热单元。

8.根据权利要求1所述的基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,快速阻抗匹配器内还设有供电接口。

9.根据权利要求1所述的基于VI探测器的阻抗匹配器,其特征在于,快速阻抗匹配器内还设有通信接口。

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