[实用新型]一种气体与压阻式压力传感器

说明书

本实用新型涉及传感器技术领域，公开一种气体与压阻式压力传感器，包括：基底，其上设有气体腔室和压力腔室；压敏电阻，形成在基底正对压力腔室的一侧；绝缘层，覆盖在压敏电阻上；若干个气敏检测单元，相邻两个气敏检测单元之间设有隔离槽，每个气敏检测单元均包括对应设置的加热件、敏感电极及气敏层，加热件位于绝缘层内，敏感电极设置在绝缘层背离基底的一侧，气敏层覆盖在敏感电极上。本实用新型公开的气体与压阻式压力传感器，具有体积小、易于安放、能够同时检测若干种气体的浓度及当前环境的气压的优点，适用于检测电池发生热失控前的气体浓度和气压，能够降低由于电池热失控现象产生的重大安全消防事故和人员财产损失。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，尤其涉及一种气体与压阻式压力传感器。

背景技术

现有的传感器大多只能用于检测一种气体的浓度，若是需要检测多种气体的浓度，需要采用多个传感器进行同时检测，若还需要检测当前环境下的气压，还需要单独使用气压传感器进行检测，占用空间较大，现有技术受加工工艺的限制，无法将气压传感器和气体传感器集成在一起。

实用新型内容

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种气体与压阻式压力传感器，克服了现有技术存在的问题，将气体传感器和气压传感器集成在一起，体积小，易安放。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种气体与压阻式压力传感器，包括：基底，其上设有气体腔室和压力腔室；压敏电阻，形成在基底正对所述压力腔室的一侧；绝缘层，形成在所述基底的一侧且覆盖在所述压敏电阻上；若干个气敏检测单元，用于检测敏感气体且相邻两个所述气敏检测单元之间设有隔离槽，每个所述气敏检测单元均包括对应设置的加热件、敏感电极及气敏层，所述加热件位于所述绝缘层内，所述敏感电极设置在所述绝缘层背离所述基底的一侧，所述气敏层覆盖在所述敏感电极上，所述敏感电极用于检测所述气敏层的电阻率。

作为一种气体与压阻式压力传感器的优选方案，所述基底包括依次叠设的第一硅衬底和第二硅衬底，所述第一硅衬底与所述第二硅衬底连接的一侧设有所述气体腔室和所述压力腔室，所述第二硅衬底上形成有所述压敏电阻，所述第二硅衬底背离所述第一硅衬底的一侧设有所述绝缘层。

作为一种气体与压阻式压力传感器的优选方案，所述绝缘层包括沿远离所述基底的方向依次叠设的第一子绝缘层、第二子绝缘层、第三子绝缘层、第四子绝缘层及第五子绝缘层，所述加热件设置在所述第三子绝缘层内，所述敏感电极形成在所述第五子绝缘层背离所述第四子绝缘层的一侧。

作为一种气体与压阻式压力传感器的优选方案，所述第二子绝缘层和所述第四子绝缘层均为氮化硅层，所述第一子绝缘层、所述第三子绝缘层和所述第五子绝缘层均为氧化硅层。

作为一种气体与压阻式压力传感器的优选方案，所述加热件呈蛇形且为钛电极或者钨电极，所述敏感电极为钛插指电极或者铂插指电极。

作为一种气体与压阻式压力传感器的优选方案，所述气体与压阻式压力传感器还包括用于检测温度的温度检测电极，所述温度检测电极设置在所述绝缘层的边缘。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型公开的气体与压阻式压力传感器，具有体积小、易于安放、能够同时检测若干种气体的浓度及当前环境的气压的优点，适用于检测电池发生热失控前的气体浓度和气压，对预测电池热失控具有决定性作用，能够降低由于电池热失控现象产生的重大安全消防事故和人员财产损失。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。