[实用新型]一种基板磨削组件和基板磨削装置

权利要求书

1.一种基板磨削组件，其特征在于，包括：

支撑体，其上设置有竖向的基体通孔；

旋转体，其同轴设置于所述基体通孔，旋转体的下部设置有磨削砂轮；

所述旋转体包括芯轴、止推座和止推板，所述芯轴间隙设置于所述基体通孔中，所述止推座和止推板分别间隔设置于所述芯轴并位于所述支撑体的下侧和上侧；所述止推座的上表面与支撑体的下表面形成下部轴向间隙，所述止推板的下表面与支撑体的上表面形成上部轴向间隙；

所述支撑体的内部设置有节流组件，所述节流组件包括一对节流器，所述节流器朝向所述上部轴向间隙和下部轴向间隙设置，其通过孔道与外部气源连通，以在轴向间隙之间形成稳定的气流。

2.如权利要求1所述的基板磨削组件，其特征在于，所述节流器包括第一过流件和第二过流件，两者层叠设置，并且，第二过流件朝向轴向间隙设置；所述第一过流件由一级多孔质材料制成，第二过流件由二级多孔质材料制成，所述一级多孔质材料的孔隙率大于二级多孔质材料的孔隙率。

3.如权利要求1所述的基板磨削组件，其特征在于，所述支撑体配置有横向孔道，所述横向孔道的一端与所述节流器连通，其另一端与所述基体通孔连通。

4.如权利要求3所述的基板磨削组件，其特征在于，所述基体通孔的内侧壁配置有微槽，所述微槽与所述横向孔道相连通；气流经由节流器和横向孔道传输至芯轴与基体通孔之间的径向间隙。

5.如权利要求4所述的基板磨削组件，其特征在于，所述支撑体还配置有排气槽，所述排气槽与所述径向间隙连通，并且，所述排气槽位于竖向间隔设置的微槽之间，其内部设置有与外部连通的排气孔。

6.如权利要求4所述的基板磨削组件，其特征在于，所述微槽的截面形状为半圆形、三角形和/或矩形。

7.如权利要求1所述的基板磨削组件，其特征在于，所述节流组件的数量为多个，其沿所述支撑体的圆周方向均匀分布。

8.如权利要求2所述的基板磨削组件，其特征在于，所述节流器为双层圆柱状结构，其由微米级和/或纳米级的多孔质材料制成。

9.如权利要求1所述的基板磨削组件，其特征在于，所述支撑体的内部配置有进气孔道和分支孔道，气流通过进气孔道和分支孔道传输至节流器，并经由所述节流器排放至轴向间隙和径向间隙。

10.一种基板磨削装置，其特征在于，包括：

磨削工作台，用于承载预设数量的吸盘，所述吸盘用于装载待磨削的基板并带动基板旋转；

和权利要求1至9任一项所述的基板磨削组件，用于使磨削砂轮抵接于基板以对基板进行磨削处理。