[实用新型]活性炭吸附装置及其多晶硅尾气处理的能量利用系统

说明书

本申请涉及一种活性炭吸附装置，壳体开设有内腔，进气管路至少部分伸入内腔中，多个活性炭吸附柱设置于内腔中，多个活性炭吸附柱以吸附进气管路的中心轴线均布设置，多个活性炭吸附柱中任意一者的一端设置有的第一管路，多个第一管路均与吸附进气管路的一端连通，脱附进气管路至少部分伸入内腔中，多个活性炭吸附柱中任意一者的另一端设置有第二管路，多个第二管路均与脱附进气管路的一端连通。上述方案能够解决多组串联活性炭吸附柱存在邻近于生产尾气活性炭吸附柱吸附的杂质多，通过氢气逆向对多组串联活性炭吸附柱逐级吹扫，在吹扫至邻近于生产尾气活性炭吸附柱的力度变小而导致再生效果不佳，从而导致活性炭吸附柱的循环利用效果不佳。

技术领域

本申请涉及多晶硅尾气回收技术领域，特别是涉及活性炭吸附装置及其多晶硅尾气处理的能量利用系统。

背景技术

改良西门子法三氯氢硅氢还原生产多晶硅过程，反应转化率在10％左右，未反应的氢气、三氯氢硅和反应副产物四氯化硅、氯化氢共同组成生产尾气，进入干法回收系统分离、回收。传统的干法回收系统由“冷凝分离氯硅烷-吸收脱吸分离氯化氢-吸附净化回收氢气”三大部分组成。具体工艺为生产尾气先经加压冷凝以回收液态氯硅烷，再通过低温氯硅烷吸收-高温脱吸的方式分离回收不凝气中绝大部分的氯化氢，之后经活性炭吸附其中极少量的氯硅烷、氯化氢及其它杂质，吸附后的绝大部分回收氢气返回到四氯化硅氢化系统，少部分的回收氢气作为反吹气将活性炭吸附的氯硅烷和氯化氢脱附，脱附后混合气体返回至干法回收系统的冷凝工序，分离出的氯化氢送至四氯化硅氢化系统参与反应。

多晶硅干法回收工艺过程中，采用活性炭吸附柱对生产尾气中的氢气进行提纯和净化是目前“改良西门子”中氢气回收利用的主流处理方法。活性炭吸附柱是该工艺方法的关键设备，其设备性能和处理能力直接决定了氢气回收的成本。活性炭吸附柱工作时，分为三个过程：活性炭对氢气进行吸附提纯、加热活性炭使杂质气体脱附并用氢气逆向吹扫、降温使活性炭继续工作。后两个过程又并成为活性炭的再生过程。

相关技术中，为了提升对尾气中氢气的纯度，活性炭吸附柱通过设置多组串联设置来对生产尾气的氢气进行吸附提纯，从而提升活性炭吸附氯硅烷、氯化氢及其它杂质的吸附率，从而导致邻近于生产尾气活性炭吸附柱吸附的杂质多，而通过氢气逆向对多组串联活性炭吸附柱进行吹扫、降温使活性炭继续工作，随着反向吹扫的力度变小，邻近于生产尾气活性炭吸附柱无法得到有效的再生，从而导致活性炭吸附柱的循环利用效果不佳。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术中多组串联活性炭吸附柱存在邻近于生产尾气活性炭吸附柱吸附的杂质多，且通过氢气逆向对多组串联活性炭吸附柱进行吹扫、降温使活性炭继续工作，随着反向吹扫的力度变小，邻近于生产尾气活性炭吸附柱无法得到有效的再生，从而导致活性炭吸附柱的吸附效果不佳。提供活性炭吸附装置及其多晶硅尾气处理的能量利用系统，从而保证多组活性炭吸附柱均能够得到最大化利用，且氢气对多组活性炭吸附柱的反向吹扫均能够得到更好的再生效果，从而保证活性炭吸附柱的循环利用效果。

一种活性炭吸附装置，包括壳体、吸附进气管路、多个活性炭吸附柱和脱附进气管路，所述壳体开设有内腔，所述进气管路至少部分伸入所述内腔中，所述多个活性炭吸附柱设置于所述内腔中，所述多个活性炭吸附柱以所述吸附进气管路的中心轴线均布设置，所述多个活性炭吸附柱中任意一者的一端设置有的第一管路，所述多个第一管路均与所述吸附进气管路的一端连通，所述脱附进气管路至少部分伸入所述内腔中，所述吸附进气管路与所述脱附进气管路相对，且所述吸附进气管路与所述脱附进气管路的中心轴线一致，所述多个活性炭吸附柱中任意一者的另一端设置有第二管路，所述多个第二管路均与所述脱附进气管路的一端连通。