[实用新型]活性炭吸附装置及其多晶硅尾气处理的能量利用系统

权利要求书

1.一种活性炭吸附装置，其特征在于，包括壳体、吸附进气管路、多个活性炭吸附柱和脱附进气管路，所述壳体开设有内腔，所述进气管路至少部分伸入所述内腔中，所述多个活性炭吸附柱设置于所述内腔中，所述多个活性炭吸附柱以所述吸附进气管路的中心轴线均布设置，所述多个活性炭吸附柱中任意一者的一端设置有的第一管路，所述多个第一管路均与所述吸附进气管路的一端连通，所述脱附进气管路至少部分伸入所述内腔中，所述吸附进气管路与所述脱附进气管路相对，且所述吸附进气管路与所述脱附进气管路的中心轴线一致，所述多个活性炭吸附柱中任意一者的另一端设置有第二管路，所述多个第二管路均与所述脱附进气管路的一端连通。

2.一种多晶硅尾气处理的能量利用系统，其特征在于，包括权利要求1所述的活性炭吸附装置、吸收塔、解析塔、第一换热器、第二换热器和第三换热器，所述活性炭吸附装置的吸附出气管路连接有氢气储罐，所述氢气储罐与所述第一换热器的管程进口相连，所述第一换热器的管程出口与脱附进气管路相连通，所述活性炭吸附装置的脱附出气管路与所述第一换热器的壳程进口相连，所述第一换热器的壳程出口与所述第二换热器的壳程进口相连，所述第二换热器的壳程出口与所述第三换热器的壳程进口相连，所述第三换热器的气相出口与所述吸收塔的废气进口相连，所述吸收塔的富液出口与所述第三换热器的管程进口相连，所述第三换热器的液相出口与所述第二换热器的管程进口相连，所述第二换热器和所述第三换热器的管程出口均与所述解析塔的富液进口相连通。

3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气处理的能量利用系统，其特征在于，还包括第四换热器，所述第二换热器和所述第三换热器的管程出口均与所述第四换热器的管程进口相连通，所述第四换热器的管程出口与所述解析塔的富液进口相连，所述解析塔的贫液出口与所述第四换热器的壳程进口相连，所述第四换热器的壳程出口与所述吸收塔的贫液进口相连通。

4.根据权利要求3所述的多晶硅尾气处理的能量利用系统，其特征在于，还包括第五换热器，所述第三换热器的管程出口与所述第五换热器的管程进口相连，所述第五换热器的管程出口与所述第四换热器的管程进口相连，所述第四换热器的壳程出口与所述第五换热器的壳程进口相连，所述第五换热器的壳程出口与所述吸收塔的贫液进口相连。

5.根据权利要求4所述的多晶硅尾气处理的能量利用系统，其特征在于，所述第五换热器的管程出口处连接有氯硅烷回收管道，或，所述第五换热器的管程进口处连接有氯硅烷回收管道。

6.根据权利要求2所述的多晶硅尾气处理的能量利用系统，其特征在于，还包括第一加热器，所述第一换热器的管程出口与所述第一加热器的加热进口相连，所述第一加热器的加热出口与所述活性炭吸附装置的脱附进口相连。

7.根据权利要求2所述的多晶硅尾气处理的能量利用系统，其特征在于，还包括多晶硅还原炉和冷却换热系统，所述多晶硅还原炉的尾气出口与所述冷却换热系统的尾气进口相连，所述冷却换热系统的气相出口与所述吸收塔的废气进口相连，所述冷却换热系统的液相出口与所述第二换热器的管程进口相连，所述吸收塔的冷氢出口与所述冷却换热系统的冷媒进口相连，所述冷却换热系统的冷媒出口与所述活性炭吸附装置的吸附进口相连。

8.根据权利要求7所述的多晶硅尾气处理的能量利用系统，其特征在于，还包括硅粉除尘装置（800），所述多晶硅还原炉的尾气出口与所述硅粉除尘装置的进口相连，所述硅粉除尘装置的出口与所述冷却换热系统的尾气进口相连。