[实用新型]一种具有自检测功能的气瓶净化处理系统

权利要求书

1.一种具有自检测功能的气瓶净化处理系统，其特征是，包括烘箱（2）、汇流排（20）、氮气管（8）、压力表（19）、放空管（15）、微量气体分析仪、真空泵（16）和多个阀门，待处理气瓶（1）置于烘箱（2）中并通过气瓶连接支管（21）与汇流排（20）连接，所述汇流排（20）依次通过氮气管（8）和第一阀门（11）与高压纯化氮气（12）连接，所述氮气管（8）分别通过第二阀门（3）和第三阀门（4）与压力表（19）和放空管（15）连接，所述微量气体分析仪通过第四阀门（5）与氮气管（8）连接并通过第五阀门（18）与放空管（15）连接，所述真空泵（16）的进气端通过第六阀门（7）与氮气管（8）连接，出气端与放空管（15）连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有自检测功能的气瓶净化处理系统，其特征是，所述微量气体分析仪包括微量氧分析仪（6）和微量水分析仪（17）。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有自检测功能的气瓶净化处理系统，其特征是，所述真空泵（16）与放空管（15）之间的管路上连接有分子泵（9）。

4.根据权利要求3所述的一种具有自检测功能的气瓶净化处理系统，其特征是，所述分子泵（9）的出气端设有逆止阀（14）。

5.根据权利要求4所述的一种具有自检测功能的气瓶净化处理系统，其特征是，还包括第七阀门（10），所述第七阀门（10），所述第七阀门（10）的一端连接在氮气管（8）靠近第一阀门（11）的一端，另一端与放空管（15）连接，第三阀门（4）连接在氮气管（8）靠近汇流排（20）的一端。

6.根据权利要求5所述的一种具有自检测功能的气瓶净化处理系统，其特征是，所述第一阀门（11）至第七阀门（10）均为隔膜阀。