[发明专利]一种偏滤器及其冷却管路切割、焊接方法

权利要求书

1.一种偏滤器，包括盒体及支撑于盒体上的面对等离子体部件，其特征在于：所述面对等离子体部件包括相连接的内靶板、外靶板和穹顶，所述盒体的内部位于所述穹顶的下方设有相连通第一冷却管路及第二冷却管路，且所述第二冷却管路与所述穹顶相垂直，所述第一管路用于冷却所述内靶板及所述外靶板，所述第二冷却管路用于连接冷却剂及冷却所述穹顶。

2.如权利要求1所述的偏滤器，其特征在于：所述第一冷却管路包括连接所述外靶板的第一主管道及第二主管道，所述第一主管道上设有第一冷却管，所述第二主管道设有第二冷却管。

3.如权利要求2所述的偏滤器，其特征在于：所述第一冷却管路还包括连接所述外靶板及所述内靶板的第三冷却管、连接所述内靶板及所述第二主管道的第四冷却管及连接所述第一主管道及所述外靶板的第五冷却管。

4.如权利要求3所述的偏滤器，其特征在于：所述内靶板包括内靶板过渡支撑、及支撑于所述内靶板过渡支撑上的内垂直靶板和内水平靶板，所述第三冷却管及所述第四冷却管均连接所述内靶板过渡支撑。

5.如权利要求4所述的偏滤器，其特征在于：所述外靶板包括外靶板过渡支撑及支撑于所述外靶板过渡支撑上的外水平靶板、外垂直靶板，所述第一主管道、所述第二主管道、所述第三冷却管及所述第五冷却管均连接所述外靶板过渡支撑。

6.如权利要求2所述的偏滤器，其特征在于：所述穹顶包括支撑于所述盒体上的拱板过渡支撑及支撑于所述拱板过渡支撑上的拱板所述第一冷却管及所述第二冷却管均穿过所述拱板过渡支撑。

7.如权利要求6所述的偏滤器，其特征在于：所述拱板过渡支撑与所述盒体通过螺栓固定连接。

8.如权利要求6所述的偏滤器，其特征在于：所述内靶板及所述外靶板靠近所述穹顶的一端均位于所述拱板的下方。

9.一种偏滤器冷却管路切割方法，其特征在于：包括以下步骤：

外切第一冷却管及第二冷却管；

拆除拱板过渡支撑，并提起；

切割第三冷却管、第四冷却管及第五冷却管。

10.一种偏滤器冷却管路焊接方法，其特征在于：包括以下步骤：

焊接第三冷却管、第四冷却管及第五冷却管；

安装穹顶；

焊接第一冷却管及第二冷却管。