[发明专利]太阳能电池和太阳能电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 202310741576.2 申请日: 2023-06-21
公开(公告)号: CN116487452B 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 刘成法;陈红;陈达明;陈奕峰 申请(专利权)人: 天合光能股份有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/18
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 骆希聪
地址: 213031 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 太阳能电池 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:

衬底,具有沿第一方向相对的第一表面和第二表面;

隧穿氧化层,设置于所述第一表面和/或所述第二表面;

掺杂多晶硅层,设置于所述隧穿氧化层远离所述衬底的表面;

阻挡层,设置于所述太阳能电池的电极区,且与所述掺杂多晶硅层接触,所述阻挡层的掺杂类型与所述掺杂多晶硅层相同;以及

电极,设置与所述电极区且与所述阻挡层接触,其中,所述第一方向为所述衬底的厚度方向。

2.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述阻挡层设置于所述掺杂多晶硅层远离所述衬底的表面。

3.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述阻挡层沿所述第一方向深入至所述掺杂多晶硅层中预设深度,其中,所述预设深度等于或小于所述掺杂多晶硅层的厚度。

4.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述阻挡层设置于所述隧穿氧化层远离所述衬底的表面。

5.如权利要求4所述的太阳能电池,其特征在于,所述阻挡层远离所述衬底的表面与所述掺杂多晶硅层远离所述衬底的表面齐平,或比所述掺杂多晶硅层远离所述衬底的表面更靠近所述衬底,或比所述掺杂多晶硅层远离所述衬底的表面更远离所述衬底。

6.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述阻挡层的材料包括多晶硅、碳化硅和氧化锌中的一种或多种。

7.如权利要求6所述的太阳能电池,其特征在于,所述多晶硅的晶化率大于所述掺杂多晶硅层的晶化率。

8.如权利要求7所述的太阳能电池,其特征在于,所述多晶硅的晶化率等于或大于90%,所述掺杂多晶硅层的晶化率为80%~95%。

9.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述电极区的复合电流密度等于或小于100fA/cm2

10.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,还包括介质层,所述介质层设置于所述掺杂多晶硅层和所述阻挡层远离所述衬底的表面。

11.如权利要求10所述的太阳能电池,其特征在于,所述电极贯穿所述介质层与所述阻挡层接触。

12.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述掺杂多晶硅层的厚度等于或大于3nm,且等于或小于200nm。

13.一种太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括步骤:

提供衬底,所述衬底具有沿第一方向相对的第一表面和第二表面;

在所述第一表面和/或所述第二表面形成隧穿氧化层;

在所述隧穿氧化层远离所述衬底的表面形成掺杂多晶硅层;

在所述太阳能电池的电极区形成阻挡层,所述阻挡层与所述掺杂多晶硅层接触,所述阻挡层的掺杂类型与所述掺杂多晶硅层相同;以及

形成电极,所述电极与所述阻挡层接触,其中,所述第一方向为所述衬底的厚度方向。

14.如权利要求13所述的制备方法,其特征在于,形成阻挡层的方法包括:

清洗所述掺杂多晶硅层表面;

在所述电极区形成与所述掺杂多晶硅层远离所述衬底的表面接触的所述阻挡层。

15.如权利要求13所述的制备方法,其特征在于,所述阻挡层的材料包括多晶硅、碳化硅和氧化锌中的一种或多种。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天合光能股份有限公司,未经天合光能股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202310741576.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top