[发明专利]一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置

说明书

本申请涉及一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：放电腔腔体，该放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体的开设有进气口和出气口；扰流板模块，该扰流板模块与放电腔腔体连接，并设有与进气口连通的出光通道；净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。本申请的扰流板模块一方面用于捕获流向出光镜片的灰尘颗粒，另一方面未被扰流板模块捕获的灰尘颗粒在第一气路和第二气路气流的对冲作用下返回至放电腔腔体内，阻止灰尘颗粒经过扰流板模块污染出光镜片，以使出光镜片表面保持清洁，不影响激光的输出性能。

技术领域

本申请涉及准分子激光器技术领域，特别涉及一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置。

背景技术

准分子激光器是一种面向紫外特征应用的常规气体激光器，目前被认为是用于光刻的最佳光源选择，是集成电路平板印刷光刻工业的主力工作光源。

准分子激光器放电腔在放电时会产生灰尘颗粒，这些粉尘随着风机转动产生的气流，分散到腔体内各个部分。尤其粉尘会漂散到激光器的封腔镜表面，显著降低腔镜的透过率指标，需要设计特殊的腔镜防尘或吹扫装置，用以保护和延长封腔镜使用寿命。

发明内容

本申请实施例提供一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，以解决相关技术中准分子激光器放电腔在放电时会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒会漂散到激光器的封腔镜表面，显著降低封腔镜透过率的问题。

本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：

放电腔腔体，所述放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，所述放电腔腔体开设有进气口，所述放电腔腔体上还开设有第一出气口和第二出气口；

扰流板模块，所述扰流板模块位于所述放电腔腔体的两侧且与所述放电腔腔体连接，并设有两端分别与所述进气口和出光镜片连接的出光通道；

净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，所述第一气路与所述第一出气口连通，所述第二气路与所述第二出气口连通，所述第一气路和第二气路的气体在所述出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。

在一些实施例中：还包括出光镜片，所述出光镜片固定在所述扰流板模块上，并位于远离所述放电腔腔体的一端，以封闭所述出光通道；

所述出光通道的激光光路与所述出光镜片的交汇处形成出光点，对冲的气体在所述出光通道内交汇处偏离所述激光光路和出光点。

在一些实施例中：所述扰流板模块包括外壳和位于所述外壳内的多个相互平行且间隔设置的矩形扰流片；

各所述矩形扰流片上开设有长方形孔洞，各长方形孔洞依次连通形成所述出光通道；

多个所述矩形扰流片的外周围设有侧板，相对设置的两块侧板上开设有沿远离放电腔腔体的方向宽度逐渐缩小的楔形孔；

所述第一气路的一端与其中一个所述侧板的楔形孔连通，所述第二气路的一端与另一个所述侧板的楔形孔连通。

在一些实施例中：各所述矩形扰流片上长方形孔洞沿远离所述放电腔腔体的方向宽度逐渐增大，且各所述长方形孔洞的中心点沿远离放电腔腔体的方向距离出光通道的激光光路距离逐渐增大。

在一些实施例中：所述出光通道在开设有楔形孔的侧板上的投影与楔形孔部分重合或互不重合，且各所述长方形孔洞中心点的连线朝远离楔形孔的方向偏移。

在一些实施例中：所述出光通道在开设有楔形孔的侧板上的投影与楔形孔部分重合或互不重合，且各所述矩形扰流片上长方形孔洞相同，以使由楔形孔进入所述出光通道内的对冲气体驱使位于出光通道内的灰尘颗粒偏离出光通道的激光光路。