[发明专利]一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置

权利要求书

1.一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

放电腔腔体（10），所述放电腔腔体（10）为封闭的空心腔体结构，所述放电腔腔体（10）开设有进气口，所述放电腔腔体（10）上还开设有第一出气口和第二出气口；

扰流板模块（60），所述扰流板模块（60）位于所述放电腔腔体（10）的两侧且与所述放电腔腔体（10）连接，并设有两端分别与所述进气口和出光镜片（50）连接的出光通道（64）；

净化气路，其包括位于扰流板模块（60）两侧且相对设置的第一气路（1）和第二气路（2），所述第一气路（1）与所述第一出气口连通，所述第二气路（2）与所述第二出气口连通，所述第一气路（1）和第二气路（2）的气体在所述出光通道（64）内相互对冲并回流至放电腔腔体（10）内；

所述出光镜片（50）固定在所述扰流板模块（60）上，并位于远离所述放电腔腔体（10）的一端，以封闭所述出光通道（64）；

所述出光通道（64）的激光光路（52）与所述出光镜片（50）的交汇处形成出光点（51），对冲的气体在所述出光通道（64）内交汇处偏离所述激光光路（52）和出光点（51）。

2.如权利要求1所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述扰流板模块（60）包括外壳（63）和位于所述外壳（63）内的多个相互平行且间隔设置的矩形扰流片（61）；

各所述矩形扰流片（61）上开设有长方形孔洞（68），各长方形孔洞（68）依次连通形成所述出光通道（64）；

多个所述矩形扰流片（61）的外周围设有侧板（62），相对设置的两块侧板（62）上开设有沿远离放电腔腔体（10）的方向宽度逐渐缩小的楔形孔（65）；

所述第一气路（1）的一端与其中一个所述侧板（62）的楔形孔（65）连通，所述第二气路（2）的一端与另一个所述侧板（62）的楔形孔（65）连通。

3.如权利要求2所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

各所述矩形扰流片（61）上长方形孔洞（68）沿远离所述放电腔腔体（10）的方向宽度逐渐增大，且各所述长方形孔洞（68）的中心点沿远离放电腔腔体（10）的方向距离出光通道（64）的激光光路（52）距离逐渐增大。

4.如权利要求3所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述出光通道（64）在开设有楔形孔（65）的侧板（62）上的投影与楔形孔（65）部分重合或互不重合，且各所述长方形孔洞（68）中心点的连线朝远离楔形孔（65）的方向偏移。

5.如权利要求2所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述出光通道（64）在开设有楔形孔（65）的侧板（62）上的投影与楔形孔（65）部分重合或互不重合，且各所述矩形扰流片（61）上长方形孔洞（68）相同，以使由楔形孔（65）进入所述出光通道（64）内的对冲气体驱使位于出光通道（64）内的灰尘颗粒（67）偏离出光通道（64）的激光光路（52）。

6.如权利要求2所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

靠近所述放电腔腔体（10）的2-6个所述矩形扰流片（61）与所述楔形孔（65）互不连通，且与侧板（62）相互形成收集灰尘颗粒（67）的扰流腔室。

7.如权利要求1所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述第一气路（1）上设有与所述第一出气口连通，并将所述放电腔腔体（10）内的气体进行静电吸附净化的静电除尘器（20），所述静电除尘器（20）的排气口通过第一气路（1）与扰流板模块（60）连通以形成第一气体循环回路。