[发明专利]一种溅射钽靶材的回收利用方法在审
| 申请号： | 202310634519.4 | 申请日： | 2023-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN116657103A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;李桂鹏;袁玉博 | 申请（专利权）人： | 同创（丽水）特种材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 323010 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 钽靶材 回收 利用 方法 | ||
1.一种溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述方法包括：
去除所述溅射钽靶材的背板，得到钽靶坯；
对所述钽靶坯进行平整处理和轧制处理；
对所述钽靶坯进行酸洗热处理，冷却后进行机加工得到成品钽靶材。
2.根据权利要求1所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，去除所述溅射钽靶材的背板的方法包括车削。
3.根据权利要求2所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述车削后对所述溅射钽靶材进行车削去除钽靶坯表面附着的金属。
4.根据权利要求1-3任一项所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述平整处理包括对所述钽靶坯表面进行车削去除溅射形成的凹陷部。
5.根据权利要求1-4任一项所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述轧制的方式包括十字交叉轧制。
6.根据权利要求5所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述十字交叉轧制的次数大于1次。
7.根据权利要求1-6任一项所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述酸洗热处理包括第一热处理和第二热处理。
8.根据权利要求7所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述第一热处理的温度为600～800℃；
优选地，所述第一热处理的时间为20～60min；
优选地，所述第二热处理的温度为800～1200℃；
优选地，所述第二热处理的时间为10～90min。
9.根据权利要求1-8任一项所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述酸洗热处理使用的酸为硫酸、硝酸和氢氟酸组成的混合酸。
10.根据权利要求1-9任一项所述的溅射钽靶材的回收利用方法，其特征在于，所述方法包括：
车削去除所述溅射钽靶材的背板，并车削去除钽靶坯表面附着的金属，得到钽靶坯；
对所述钽靶坯表面进行车削去除溅射形成的凹陷部，对所述钽靶坯进行十字交叉轧制，轧制次数大于1次；
对所述钽靶坯进行酸洗热处理，所述酸洗热处理包括第一热处理和第二热处理，所述第一热处理的温度为600～800℃，时间为20～60min；所述第二热处理的温度为800～1200℃，时间为10～90min，冷却后进行机加工得到成品钽靶材。
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