[发明专利]一种显微检测对焦系统及对焦方法

权利要求书

1.一种显微检测对焦系统，其特征在于，其包括：

管透镜模组(1)，所述管透镜模组(1)包括至少两个调焦管透镜(11)，每个所述调焦管透镜(11)均对应设置有摄像装置(2)；

微驱控制设备(3)，所述微驱控制设备(3)与至少两个所述调焦管透镜(11)连接，所述微驱控制设备(3)通过控制所述调焦管透镜(11)调整所述摄像装置(2)的后焦距v，使不同的所述摄像装置(2)分别对焦至待测产品(5)的不同层。

2.如权利要求1所述的显微检测对焦系统，其特征在于：

所述微驱控制设备(3)通过控制所述调焦管透镜(11)沿各自的轴线移动，使所述摄像装置(2)的后焦距v改变。

3.如权利要求1所述的显微检测对焦系统，其特征在于：

所述管透镜模组(1)还包括主管透镜(12)，所述主管透镜(12)延伸形成至少两个第一分支管透镜(13)，所述第一分支管透镜(13)通过所述微驱控制设备(3)与所述调焦管透镜(11)连接，所述调焦管透镜(11)与相应的所述第一分支管透镜(13)同轴设置。

4.如权利要求3所述的显微检测对焦系统，其特征在于：

所述微驱控制设备(3)包括驱动件(31)以及与所述驱动件(31)信号连接的导轨(32)，所述调焦管透镜(11)通过所述导轨(32)与所述第一分支管透镜(13)连接，且所述驱动件(31)通过控制所述导轨(32)沿所述调焦管透镜(11)的轴线移动，使所述摄像装置(2)的后焦距v改变。

5.如权利要求3所述的显微检测对焦系统，其特征在于：

每个所述调焦管透镜(11)上均设有独立的所述微驱控制设备(3)，并通过各自独立的微驱控制设备(3)连接至对应的所述第一分支管透镜(13)。

6.如权利要求3所述的显微检测对焦系统，其特征在于：

其中一个所述第一分支管透镜(13)与所述主管透镜(12)共轴线，另一个所述第一分支管透镜(13)包括互相垂直连接的第一段(131)和第二段(132)，所述第一段(131)与所述主管透镜(12)连接，所述第二段(132)通过所述微驱控制设备(3)与对应的所述调焦管透镜(11)连接；

所述第一段(131)垂直于所述主管透镜(12)，且所述第一段(131)与所述第二段(132)的连接处设置有第一反射镜(16)，所述第一段(131)与所述主管透镜(12)的连接处设置有第一半透半反镜(17)。

7.如权利要求1所述的显微检测对焦系统，其特征在于：

所述管透镜模组(1)包括通过所述微驱控制设备(3)与所述调焦管透镜(11)连接的主管透镜(12)，所述主管透镜(12)远离所述摄像装置(2)的一侧设置有物镜(4)，且所述主管透镜(12)的至少一个端口设置有光源(6)，所述光源(6)发出的光照射至所述物镜(4)。

8.如权利要求7所述的显微检测对焦系统，其特征在于：

所述主管透镜(12)的一侧延伸形成有第二分支管透镜(14)，所述第二分支管透镜(14)与所述主管透镜(12)垂直，所述第二分支管透镜(14)上延伸形成有至少两个第三分支管透镜(15)，所述第三分支管透镜(15)与所述主管透镜(12)平行设置，每个所述第三分支管透镜(15)均设有所述光源(6)，且各所述光源(6)的类型不同；

所述第三分支管透镜(15)与所述第二分支管透镜(14)的连接处设置有第二反射镜(18)或者第二半透半反镜(19)，所述第二分支管透镜(14)与所述主管透镜(12)的连接处设置有第二半透半反镜(19)。

9.一种显微检测对焦方法，其特征在于，其包括以下步骤：

控制至少两个调焦管透镜(11)调整其上的摄像装置(2)的后焦距v，使不同的所述调焦管透镜(11)上的所述摄像装置(2)分别对焦至待测产品(5)的不同层。

10.如权利要求9所述的显微检测对焦方法，其特征在于，所述控制至少两个调焦管透镜(11)调整其上的摄像装置(2)的后焦距v，使不同的所述调焦管透镜(11)上的所述摄像装置(2)分别对焦至待测产品(5)的不同层，包括：

使用至少两个微驱控制设备(3)分别控制至少两个调焦管透镜(11)沿各自的轴线移动，使不同的所述调焦管透镜(11)对应的摄像装置(2)的后焦距v不同，其中，每个所述微驱控制设备(3)独立的控制一个所述调焦管透镜(11)。