[发明专利]一种局域改变无机非金属材料表面载流子浓度的方法在审
| 申请号： | 202310555909.2 | 申请日： | 2023-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN116532808A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 丁学伍 | 申请（专利权）人： | 泰兰特激光技术（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人： | 曾秋梅 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 局域 改变 无机 非金属材料 表面 载流子 浓度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种局域改变无机非金属材料表面载流子浓度的方法，其特征在于，至少包括如下步骤：
采用紫外激光，在所用激光能量密度大于无机非金属材料刻蚀能量阈值的条件下，对无机非金属材料材料表面进行局域刻蚀改性，从而局部改变所述无机非金属材料表面的载流子浓度。
2.根据权利要求1所述的局域改变无机非金属材料表面载流子浓度的方法，其特征在于：紫外激光的波长为355nm，扫描速度为200-600mm/s、扫描间距为10-50μm、光斑直径为5-100μm。
3.根据权利要求1所述的局域改变无机非金属材料表面载流子浓度的方法，其特征在于：紫外激光的能量密度大于14J/cm2。
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