[发明专利]一种测试载台及COC测试设备在审
申请号: | 202310549925.0 | 申请日: | 2023-05-16 |
公开(公告)号: | CN116577531A | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 郭岩;陈佳乐;于彪;王成坤;高静;刘佳乐 | 申请(专利权)人: | 河北圣昊光电科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/28 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 王开慧 |
地址: | 050000 河北省石家庄市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 coc 设备 | ||
1.一种测试载台,其特征在于,包括:
载片台,所述载片台上设有至少两个尺寸不同的载片部。
2.根据权利要1所述的测试载台,其特征在于,所述载片部上开设有适于吸附芯片的气孔,所述气孔适于连通抽气装置。
3.根据权利要求2所述的测试载台,其特征在于,所述载片台侧面连接有气管接头,所述气管接头一端与所述气孔连通,另一端适于连通抽气装置。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的测试载台,其特征在于,所述载片部具有四个,分别为第一载片部、第二载片部、第三载片部及第四载片部,每个所述载片部通过气孔对应连通相应的抽气装置。
5.COC测试设备,其特征在于,包括权利要求1-4中任一项所述的测试载台。
6.根据权利要求5所述的COC测试设备,其特征在于,还包括机体,所述机体上安装有供给盒、收纳盒。
7.根据权利要求6所述的COC测试设备,其特征在于,所述机体上还设有推板,所述测试载台安装在所述机体上,所述推板适于推动测试载台上的芯片以调整芯片的角度。
8.根据权利要求7所述的COC测试设备,其特征在于,所述机体上还设有测试探针,所述测试探针适于接触芯片电极并对芯片进行供电。
9.根据权利要求8所述的COC测试设备,其特征在于,所述机体上还设有第一测试组件及第二测试组件。
10.根据权利要求9所述的COC测试设备,其特征在于,所述第一测试组件为PD接收器。
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