[发明专利]一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置

说明书

一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置，包括探头部、前端支撑部及第一调节部；探头部包括可移动管体和连接在可移动管体第一端的探头；可移动管体的第二端穿过前端支撑部向后伸出；前端支撑部包括固定件、第一可活动件及第二可活动件；第二可活动件端部设在第一可活动件的轴向通孔内；第二可活动件端部的径向外表面与轴向通孔的内表面之间设间隙；第二可活动件端部的径向内表面与可移动管体的径向外表面滑动连接；第一调节部包括第一纵向调节件和第一横向调节件；第一纵向调节件用于使得第一可活动件相对固定件进行上下移动，进而带动探头部上下移动；第一横向调节件用于使得第二可活动件相对第一可活动件进行左右移动，进而带动探头部左右移动。

技术领域

本发明属于电子显微镜技术领域，具体涉及一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置。

背景技术

现有探头装置的调节机构的最终目的是将探头小孔调节到极靴的正下方的位置，目的是让电子显微镜上的电子枪发射的电子束通过极靴垂直穿过探头小孔，最终阴极荧光信号才能够被探头接收，如果电子束不能够通过探头小孔，则阴极荧光信号无法收集。但是，该探头装置需要对准的探头小孔的直径很小，需要较高的定位精度，更需要调节之后定位的稳定度。而现有探头装置的调节机构自由度调节方式通常为电动调节方式，不仅结构复杂，成本高，而且探头小孔与极靴的定位精度差，同时定位的稳定度差。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置，包括：探头部、前端支撑部以及第一调节部；所述探头部包括可移动管体和固定连接在所述可移动管体第一端的探头；所述可移动管体的第二端轴向穿过所述前端支撑部并向后伸出；所述前端支撑部包括固定件、第一可活动件以及第二可活动件；所述第一可活动件的轴向第一端与所述固定件的轴向第一端上下滑动连接；所述第二可活动件的轴向中部与所述第一可活动件的轴向第二端左右滑动连接；所述第二可活动件的轴向端部设置在所述第一可活动件的轴向通孔内；所述第二可活动件的所述轴向端部的径向外表面与所述轴向通孔的内表面之间设置有间隙；所述第二可活动件的所述轴向端部的径向内表面与所述可移动管体的径向外表面滑动连接；所述第一调节部包括第一纵向调节件和第一横向调节件；所述第一纵向调节件用于使得所述第一可活动件相对所述固定件进行上下移动，进而带动所述探头部进行上下移动；所述第一横向调节件用于使得所述第二可活动件相对所述第一可活动件进行左右移动，进而带动所述探头部进行左右移动。

在一个具体实施例中，所述阴极荧光探头装置包括：后端支撑部和第二调节部；所述后端支撑部包括第三可活动件、第四可活动件以及第五可活动件；所述可移动管体的所述第二端轴向穿过所述第三可活动件和所述第四可活动件并向后伸出；所述第三可活动件的轴向第一端靠近所述前端支撑部；所述第四可活动件的轴向第一端与所述第三可活动件的轴向第二端上下滑动连接；所述第三可活动件的底部与所述第五可活动件的顶部左右滑动连接；所述第二调节部包括第二纵向调节件和第二横向调节件；所述第二纵向调节件用于使得所述第四可活动件相对所述第三可活动件进行上下移动；所述第二横向调节件用于使得所述第三可活动件相对所述第五可活动件进行左右移动。

在一个具体实施例中，所述第一纵向调节件包括：第一纵调固定块和第一纵调螺杆；所述第一纵调固定块与所述固定件的顶部固定连接；所述第一纵调螺杆的末端穿过所述第一纵调固定块与所述第一可活动件螺纹连接。

在一个具体实施例中，所述固定件的所述轴向第一端纵向设置有第一导向槽，所述第一可活动件的所述轴向第一端的左右两侧嵌设在所述第一导向槽内并与所述第一导向槽的左右两侧滑动连接。

在一个具体实施例中，所述第一可活动件通过第一连接件与所述固定件连接在一起。