[发明专利]一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置在审
申请号: | 202310542014.5 | 申请日: | 2023-05-15 |
公开(公告)号: | CN116536774A | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 奚衍罡 | 申请(专利权)人: | 南通罡丰科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/36;F27D25/00 |
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地址: | 226000 江苏省南通*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 生长 过程 中的 长晶炉 除尘 装置 | ||
1.一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置,包括水平设置的固定顶环(3),所述固定顶环(3)的圆周内壁通过铰接固定有四个圆周阵列分布的固定夹爪(4),所述固定顶环(3)的底部螺纹套接有圆周阵列分布的八组紧固机构,且每组紧固机构包括两个锁紧螺栓(2),其特征在于,所述固定顶环(3)的圆周外壁中间位置开设有外环槽(1),所述外环槽(1)的顶部和底部之间滑动卡接有环绕卡块(18),所述环绕卡块(18)的外壁固定有驱动块(5),所述驱动块(5)的一端位置套设有两个水平设置的伸缩推杆(15),且两个伸缩推杆(15)的输出轴之间通过螺栓固定有同一个竖直设置的固定清理箱(6),所述固定清理箱(6)的底部两侧位置均套接有滑动设置的升降导杆(10),两个所述升降导杆(10)的底部固定有升降清理箱(9),所述固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的内部均设置有清理机构。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置,其特征在于,所述环绕卡块(18)与外环槽(1)之间设置有环形驱动机构,所述环形驱动机构包括驱动块(5)底部内壁开设的电机舱室(16)和环绕卡块(18)底部开设的驱动齿轮腔室(17),所述驱动齿轮腔室(17)的底部贯穿设置,所述驱动块(5)位于电机舱室(16)的内部通过螺栓固定有驱动电机(14),所述驱动电机(14)的输出轴贯穿延伸至驱动齿轮腔室(17)的内部,所述驱动电机(14)的输出轴位于驱动齿轮腔室(17)的内部位置套接有驱动齿轮(13),所述驱动齿轮(13)的圆周底部凸出环绕卡块(18)的底部水平面。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置,其特征在于,所述环形驱动机构还包括外环槽(1)底部位置焊接固定的环槽齿条(12),所述驱动齿轮(13)的圆周外壁底部与环槽齿条(12)的顶部相啮合设置。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置,其特征在于,所述固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的端位置均设置有护罩机构,所述护罩机构包括升降清理箱(9)一端内壁开设的伸缩架框槽(33),所述伸缩架框槽(33)的内壁滑动套设有伸缩架(20),所述伸缩架(20)的一端四周位置固定有密闭护罩(7),所述升降清理箱(9)的另一端内壁位于伸缩架框槽(33)内部四角的位置嵌合固定有伸缩电机,且伸缩电机的输出轴凸出至伸缩架框槽(33)的内部,所述伸缩电机的输出轴均套接固定有推进丝杆(32),所述推进丝杆(32)与伸缩架(20)另一端内壁之间相螺纹套接设置。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置,其特征在于,所述清理机构包括固定清理箱(6)一侧顶部套接的除尘顶管(11),所述固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的一端均设置有落尘腔室(22),且固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的另一端内壁开设有竖直设置的吸尘内腔道(23),所述固定清理箱(6)的吸尘内腔道(23)的顶部与除尘顶管(11)相套接,所述升降清理箱(9)的吸尘内腔道(23)的顶部套接有竖直设置的伸缩吸尘管(8),且伸缩吸尘管(8)的顶部与固定清理箱(6)内开设的吸尘内腔道(23)的底部相套接设置。
6.根据权利要求5所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置,其特征在于,所述落尘腔室(22)的底部位置设置为向下倾斜的结构,所述固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的两侧内壁之间固定有竖直设置的喷液板(21),所述喷液板(21)的进液管延伸至固定清理箱(6)的顶部位置,并且通过外置的导管进行导通。
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