[发明专利]一种用于判断晶棒节段的头尾的装置、方法及截断设备在审

专利信息
申请号: 202310437270.8 申请日: 2023-04-21
公开(公告)号: CN116460991A 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 姜辉;王磊磊 申请(专利权)人: 西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;G01N27/04
代理公司: 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 代理人: 侯丽丽;姚勇政
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 判断 晶棒节段 头尾 装置 方法 截断 设备
【权利要求书】:

1.一种用于判断晶棒节段的头尾的判断装置,其特征在于,所述判断装置包括:

电阻测量单元,所述电阻测量单元用于测量所述晶棒节段的第一端部的第一端部电阻值以及所述晶棒节段的第二端部的第二端部电阻值;

判定单元,所述判定单元用于将所述第一端部电阻值和所述第二端部电阻值中较大的一者对应的端部判定为所述晶棒节段的头部并且将所述第一端部电阻值和所述第二端部电阻值中较小的一者对应的端部判定为所述晶棒节段的尾部。

2.根据权利要求1所述的判断装置,其特征在于,所述判断装置还包括:

输送单元,所述输送单元用于输送所述晶棒节段;

端部识别单元,所述端部识别单元用于在所述晶棒节段被输送期间确定所述晶棒节段的所述第一端部和所述第二端部处于了设定位置处,以便对所述晶棒节段的所述第一端部和所述第二端部进行测量。

3.根据权利要求2所述的判断装置,其特征在于,所述端部识别单元包括:

信号发射器,所述信号发射器用于发射信号;

信号接收器,所述信号接收器用于接收所述信号发射器发射的所述信号;

其中,所述输送单元将所述晶棒节段输送成对所述信号的传播路径进行遮挡,以便所述端部识别单元在所述信号接收器从能够接收到所述信号转变成无法接收到所述信号的时刻,确定所述晶棒节段的一个端部处于所述传播路径处,并且所述端部识别单元在所述信号接收器从无法接收到所述信号转变成能够接收到所述信号的时刻,确定所述晶棒节段的另一端部处于所述传播路径处。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的判断装置,其特征在于,所述电阻测量单元为四探针电阻仪。

5.一种用于判断晶棒节段的头尾的判断方法,其特征在于,所述判断方法包括:

测量所述晶棒节段的第一端部的第一端部电阻值以及所述晶棒节段的第二端部的第二端部电阻值;

将所述第一端部电阻值和所述第二端部电阻值中较大的一者对应的端部判定为所述晶棒节段的头部并且将所述第一端部电阻值和所述第二端部电阻值中较小的一者对应的端部判定为所述晶棒节段的尾部。

6.根据权利要求5所述的判断方法,其特征在于,所述判断方法还包括:

输送所述晶棒节段;

在所述晶棒节段被输送期间确定所述晶棒节段的端部处于了设定位置处,以便对所述晶棒节段的端部进行测量。

7.根据权利要求5所述的判断方法,其特征在于,所述在所述晶棒节段被输送期间确定所述晶棒节段的端部处于了设定位置处,包括:

利用信号发射器发射信号;

利用信号接收器接收所述信号发射器发射的所述信号;

其中,将所述晶棒节段输送成对所述信号的传播路径进行遮挡,以便在所述信号接收器从能够接收到所述信号转变成无法接收到所述信号的时刻,确定所述晶棒节段的一个端部处于所述传播路径处,并且在所述信号接收器从无法接收到所述信号转变成能够接收到所述信号的时刻,确定所述晶棒节段的另一端部处于所述传播路径处。

8.一种截断设备,所述截断设备用于将整根晶棒切割成至少两个晶棒节段,其特征在于,所述截断设备包括根据权利要求1至4中任一项所述的判断装置。

9.根据权利要求8所述的截断设备,其特征在于,所述截断设备还包括:

切割装置,所述切割装置用于切割所述晶棒;

输送装置,所述输送装置用于将所述晶棒输送至所述切割装置以及将所述至少两个晶棒节段输送离开所述切割装置;

其中,在所述输送装置的输送方向上,所述判断装置设置在所述切割装置的下游处。

10.根据权利要求9所述的截断设备,其特征在于,所述输送装置包括用于承载所述晶棒和所述至少两个晶棒节段的承载件,所述承载件的横截面呈V形。

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