[发明专利]一种基于自动化的激光芯片检测设备及其检测方法

说明书

本发明公开一种基于自动化的激光芯片检测设备及其检测方法，涉及芯片检测装置技术领域，包括设备主体，设备主体内设有第一电动滑台、第二电动滑台、第三电动滑台，第三电动滑台上安装有滑块，滑块的一侧固定设有用于安装激光件的安装板，检测方法为控制托块移出设备后，集中装载芯片上料；移动杆向上移动通过圆杆带动齿条平移，驱动齿轮转动L形板，密封板关闭进料横槽；利用插块对托块固定，稳固芯片；通过在X、Y、Z方向移动测试座，调节移动激光对芯片全面缺陷测试。本发明激光芯片检测设备，其中利用可自由移动的激光对若干个芯片进行自动全面缺陷检测，提高了芯片检测的精度和效率，高自动化，检测方法降低了检测过程中芯片的检测误差。

技术领域

本发明涉及芯片检测装置技术领域，具体是一种基于自动化的激光芯片检测设备及其检测方法。

背景技术

芯片测试制备过程会存在误差，造成芯片损坏，需要在生产后对芯片进行测试。

现有技术中，如申请号为：CN202121410193.X公开的芯片检测置物盒及芯片检测装置，其中，芯片检测装置在检测的过程可以批量的对芯片进行目检，且减少了人工移动芯片的次数，提高了对芯片目检的效率，同时避免了芯片被破坏，减少了芯片被二次污染的风险。

但是现有技术中，如申请号为：CN202121410193.X中提到的芯片检测装置，无法对芯片进行高精度的缺陷检测，缺乏芯片自动化检测的功能，目检的效率低于自动化设备，且目检精度较低于设备检测。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于自动化的激光芯片检测设备及其检测方法，以解决现有技术中的问题。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种基于自动化的激光芯片检测设备，所述检测设备包括设备主体，所述设备主体内设有第一电动滑台，第一电动滑台上安装有第二电动滑台，第二电动滑台上安装有第三电动滑台，用于调节激光件在XYZ方向移动，第三电动滑台上安装有滑块，滑块的一侧固定设置有安装板，安装板上安装有激光件，用于产生激光对芯片进行缺陷检测。

进一步的，所述设备主体上设有控制箱，控制箱上阵列设有防尘板，防尘板上设有若干个通孔，其中一个防尘板上设有进料横槽，进料横槽的底侧对称开设有凹槽，设备主体顶端设有安装槽，设备主体内安装有托板，设备主体内固定设有第一检测组件。

进一步的，所述设备主体内紧固设有支架，支架上固定设有滑轨，第二电动滑台滑动安装于第一电动滑台、滑轨上，安装板的一侧固定设有侧板，侧板的一侧安装有测试座。

所述测试座上阵列设置有气缸，气缸的输出端连接有顶针，安装板上固定设有供能件，激光件与供能件连接，安装板上固定设有导向件，导向件上设有用于激光定位的定位孔。

进一步的，所述托板上阵列设置有矩形槽，矩形槽内设有圆孔，矩形槽内设有卡槽，托板的底部设有两个垫杆，托板的底部设有插槽，垫杆上连接有滑杆，设备主体内设有两个工形块，用于支撑托板，工形块上安装有导向板，导向板上开设有第一滑槽。

所述滑杆上固定设有推块，设备主体内转动设有第一丝杠，推块螺纹连接于第一丝杠上，设备主体内固定设有若干个立板，立板上转动设有托轮，滑杆与第一滑槽配合，托轮与滑杆的底端滑动连接。

进一步的，所述设备主体内对称设有第二检测组件，第二检测组件设置于第一检测组件一侧，第二检测组件包括第四电动滑台，第四电动滑台上安装有移动座，移动座上安装有两个球体，球体的一侧设有可调支架，第四电动滑台的一侧固定设有固定架。

所述固定架上固定设有第五电动滑台，第五电动滑台上设有移动块，移动块上安装有配合件，第一检测组件包括底座，底座上转动设有十字块，十字块上阵列设置有固定件，固定件用于与顶针配合，配合件与固定件配合。