[发明专利]一种基于自动化的激光芯片检测设备及其检测方法

权利要求书

1.一种基于自动化的激光芯片检测设备，所述检测设备包括设备主体(1)，其特征在于，所述设备主体(1)内设有第一电动滑台(3)，第一电动滑台(3)上安装有第二电动滑台(33)，第二电动滑台(33)上安装有第三电动滑台(34)，用于调节激光件(47)在XYZ方向移动，第三电动滑台(34)上安装有滑块(41)，滑块(41)的一侧固定设置有安装板(42)，安装板(42)上安装有激光件(47)，用于产生激光对芯片进行缺陷检测。

2.根据权利要求1所述的一种基于自动化的激光芯片检测设备，其特征在于，所述设备主体(1)上设有控制箱(11)，控制箱(11)上阵列设有防尘板(13)，防尘板(13)上设有若干个通孔，其中一个防尘板(13)上设有进料横槽(14)，进料横槽(14)的底侧对称开设有凹槽(15)，设备主体(1)顶端设有安装槽(16)，设备主体(1)内安装有托板(2)，设备主体(1)内固定设有第一检测组件(5)。

3.根据权利要求2所述的一种基于自动化的激光芯片检测设备，其特征在于，所述设备主体(1)内紧固设有支架(31)，支架(31)上固定设有滑轨(32)，第二电动滑台(33)滑动安装于第一电动滑台(3)、滑轨(32)上，安装板(42)的一侧固定设有侧板(43)，侧板(43)的一侧安装有测试座(44)；

所述测试座(44)上阵列设置有气缸(46)，气缸(46)的输出端连接有顶针(45)，安装板(42)上固定设有供能件(48)，激光件(47)与供能件(48)连接，安装板(42)上固定设有导向件(49)，导向件(49)上设有用于激光定位的定位孔(40)。

4.根据权利要求3所述的一种基于自动化的激光芯片检测设备，其特征在于，所述托板(2)上阵列设置有矩形槽(20)，矩形槽(20)内设有圆孔(201)，矩形槽(20)内设有卡槽(202)，托板(2)的底部设有两个垫杆(22)，托板(2)的底部设有插槽，垫杆(22)上连接有滑杆(23)，设备主体(1)内设有两个工形块(24)，用于支撑托板(2)，工形块(24)上安装有导向板(25)，导向板(25)上开设有第一滑槽；

所述滑杆(23)上固定设有推块(21)，设备主体(1)内转动设有第一丝杠(28)，推块(21)螺纹连接于第一丝杠(28)上，设备主体(1)内固定设有若干个立板(26)，立板(26)上转动设有托轮(27)，滑杆(23)与第一滑槽配合，托轮(27)与滑杆(23)的底端滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种基于自动化的激光芯片检测设备，其特征在于，所述设备主体(1)内对称设有第二检测组件(6)，第二检测组件(6)设置于第一检测组件(5)一侧，第二检测组件(6)包括第四电动滑台(61)，第四电动滑台(61)上安装有移动座(62)，移动座(62)上安装有两个球体(63)，球体(63)的一侧设有可调支架(65)，第四电动滑台(61)的一侧固定设有固定架(55)；

所述固定架(55)上固定设有第五电动滑台(56)，第五电动滑台(56)上设有移动块(57)，移动块(57)上安装有配合件(58)，第一检测组件(5)包括底座(51)，底座(51)上转动设有十字块(53)，十字块(53)上阵列设置有固定件(54)，固定件(54)用于与顶针(45)配合，配合件(58)与固定件(54)配合。

6.根据权利要求5所述的一种基于自动化的激光芯片检测设备，其特征在于，所述矩形槽(20)内设置有芯片托块(7)，芯片托块(7)上固定设有配合杆(71)，芯片托块(7)内设有矩形空槽，芯片托块(7)设置有可拆式的卡块(72)，卡块(72)上设有螺纹孔(76)，卡块(72)的一侧设有固定槽(78)，芯片托块(7)内固定设有垫板(70)，垫板(70)上安装有芯片盒(73)；

所述芯片盒(73)的侧面开设有开口槽(77)，芯片盒(73)内设有芯片槽(74)，芯片槽(74)内的底部设置有垫块(75)，芯片盒(73)上设有贯穿孔(79)，贯穿孔(79)与螺纹孔(76)同轴对应设置；

所述卡槽(202)与卡块(72)配合，配合杆(71)与圆孔(201)配合，开口槽(77)与卡块(72)配合，螺栓穿过贯穿孔(79)与螺纹孔(76)配合。