[发明专利]基于激光诱导击穿光谱的检测方法及系统

权利要求书

1.基于激光诱导击穿光谱的检测方法，其特征在于，所述方法包括：

以初始激光能量击打待检测样品，确定所述待检测样品的等离子体实际温度；

根据所述等离子体实际温度和等离子体目标温度，将所述初始激光能量调整为目标激光能量；

以所述目标激光能量多次击打所述待检测样品，获得所述待检测样品的多个光谱。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述等离子体实际温度和等离子体目标温度，将所述初始激光能量调整为目标激光能量，包括：

根据所述等离子体实际温度和等离子体目标温度，确定所述等离子体实际温度与所述等离子体目标温度的温度差；

若所述温度差满足预设条件，所述目标激光能量为所述初始激光能量；

若所述温度差不满足所述预设条件，基于所述温度差，将所述初始激光能量调整为目标激光能量。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述若所述温度差不满足所述预设条件，基于所述温度差，将所述初始激光能量调整为目标激光能量，包括：

基于所述温度差，将所述初始激光能量调整为第一激光能量；

以所述第一激光能量击打所述待检测样品，确定所述待检测样品的等离子体第一实际温度；

根据所述等离子第一实际温度和所述等离子体目标温度，确定所述等离子第一实际温度和所述等离子体目标温度的第一温度差；

若所述第一温度差满足所述预设条件，所述目标激光能量为所述第一激光能量；

若所述第一温度差不满足所述预设条件，基于所述第一温度差，将所述第一激光能量调整为目标激光能量。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设条件包括所述温度差的绝对值小于温度允许偏差。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述温度差，将所述初始激光能量调整为目标激光能量，包括：

基于所述温度差和调整系数，确定激光能量的调整值，所述目标激光能量为所述初始激光能量与所述激光能量的调整值之和。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述以初始激光能量击打待检测样品，确定所述待检测样品的等离子体实际温度，包括：

以初始激光能量击打待检测样品，采集所述待检测样品的初始光谱；

根据所述初始光谱，确定所述待检测样品的等离子体实际温度。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述根据所述初始光谱，确定所述待检测样品的等离子体实际温度的方式包括：玻尔兹曼平面法、双线比值法和萨哈-玻尔兹曼平面法。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待检测样品包括第一样品和第二样品，所述第一样品的目标激光能量为第一目标激光能量，所述方法还包括：

以所述第一目标激光能量作为所述第二样品的初始激光能量，以对所述第二样品进行检测。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

基于所述待检测样品的多个光谱，对所述待检测样品进行定标。

10.基于激光诱导击穿光谱的检测系统，其特征在于，所述系统包括：脉冲激光器、处理器和光谱仪；

所述脉冲激光器，用于以初始激光能量击打待检测样品；

所述处理器，用于确定所述待检测样品的等离子体实际温度；

所述处理器，还用于根据所述等离子体实际温度和等离子体目标温度，将所述初始激光能量调整为目标激光能量；

所述脉冲激光器，还用于以所述目标激光能量多次击打所述待检测样品；

所述光谱仪，用于获得所述待检测样品的多个光谱。