[发明专利]一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法

说明书

本公开涉及一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法，其中，掩膜组件，包括至少一个掩膜框和设置在所述掩膜框的承载面上的掩膜片；所述掩膜框包括掩膜边框和位于所述掩膜边框围绕区域内的至少一个支撑梁；所述支撑梁的承载面与所述掩膜框的承载面平齐。本公开可以减小掩膜片受重力产生变形的问题，适用于各种尺寸的掩膜片，提高目标基板的对位准确度，提升蒸镀效果。

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管)显示器以其优异的性能正在取代LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)。OLED器件的制造用的蒸镀机中，需要用到精密金属掩膜板(FMM，Fine Metal Mask)，使用FMM制造的显示屏性能卓越。

而制作大尺寸OLED器件需要大尺寸基板，尺寸越大，生产效率也越高。大尺寸基板需要相对应的大尺寸掩膜板，掩膜片尺寸越大受重力及温度等环境影响发生变形越大，因此掩膜片特别是大型基板对应掩膜片因自身重力变形是当前急需解决的问题。

发明内容

为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法，可以减小掩膜片受重力产生变形的问题，适用于各种尺寸的掩膜片，提高目标基板的对位准确度，提升蒸镀效果。

第一方面，本公开提供了一种掩膜组件，包括至少一个掩膜框和设置在所述掩膜框的承载面上的掩膜片；

所述掩膜框包括掩膜边框和位于所述掩膜边框围绕区域内的至少一个支撑梁；所述支撑梁的承载面与所述掩膜框的承载面平齐。

在一些实施例中，所述掩膜框上设置有多列依次排布的所述掩膜片；所述掩膜片的延伸方向平列于所述支撑梁的延伸方向；同一所述掩膜框的相邻两列所述掩膜片的间隙与所述支撑梁重叠。

在一些实施例中，所述掩膜片的边缘固定在所述支撑梁和/或所述掩膜边框上。

在一些实施例中，同一所述掩膜框的相邻两列所述掩膜片的间隙处设置有垫片；所述垫片位于所述支撑梁上。

在一些实施例中，所述垫片固定在所述支撑梁上。

在一些实施例中，所述掩膜组件包括目标基板设置区，所述目标基板设置区中用于放置目标基板；

所述垫片结构与所述目标基板设置区外的所述掩膜边框固定。

在一些实施例中，同一所述掩膜框的相邻两列所述掩膜片的间隙小于预设值。

在一些实施例中，所述支撑梁的承载面设置有沟槽；所述掩膜片固定在所述沟槽中。

在一些实施例中，所述支撑梁的承载面设置有沟槽，所述垫片的边缘紧固定于所述沟槽内。

在一些实施例中，所述支撑梁内设置有恒温液管道。

在一些实施例中，所述支撑梁的承载面设置有沟槽；所述沟槽内设置有支撑平台；

所述掩膜片的边缘固定在所述沟槽内，且所述支撑平台的承载面与所述掩膜片背离所述掩膜框的一侧齐平。

在一些实施例中，设置在所述掩膜框的承载面上的掩膜片为整片结构。

在一些实施例中，同一所述掩膜框的相邻两列掩膜片间隙处的所述垫片，与该所述相邻两列掩膜片的边缘交叠，所述掩膜片位于所述垫片背离所述支撑梁的一侧。

在一些实施例中，沿平行于所述支撑梁的延伸方向，所述垫片的长度小于所述掩膜片的长度。

在一些实施例中，所述掩膜边框与所述支撑梁一体成型。