[发明专利]一种弹性波器件以及使用其的弹性波装置

说明书

本发明涉及滤波器技术领域，特别涉及一种弹性波器件以及使用其的弹性波装置。该器件包含：压电基板，具有相对的第一表面和第二表面；弹性波组件，设置在压电基板的第一表面上；第二布线，设置在压电基板的第一表面上，第二布线包括沿第一方向布置的桥接部；第一绝缘体，设置在桥接部的上表面上，第一绝缘体沿第一方向布置；第一布线，设置在压电基板上并连接弹性波组件，第一布线包括隔着第一绝缘体与第二布线的桥接部立体交叉的立体布线部、以及分别连接桥接部沿第一方向上的两端的第一连接部和第二连接部，立体布线部沿第二方向布置；第一方向与第二方向交叉设置。由此，本发明提供一种高可靠度的弹性波器件。

技术领域

本发明涉及滤波器技术领域，特别涉及一种弹性波器件以及使用其的弹性波装置。

背景技术

现有使用弹性波的滤波器(弹性波装置)被广泛地应用在行动电话等的接收电路中。其构造如大多数说明书所描述地，包含在钽酸锂或铌酸锂等压电基板上设置梳状电极而形成的共振子(弹性波组件)。

在该情况下，有时为了谋求小型化而使多个布线彼此立体交叉。例如在立体交叉部中，在下层的布线上隔着绝缘层形成有上层的布线。

而由于上层的布线为横跨两绝缘层短边，受后续制程外力影响，导致绝缘层存在容易翘起脱落的风险。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术中的不足，提供一种弹性波器件以及使用其的弹性波装置。

为了解决上述技术问题，本发明提供的技术方案之一如下：

一种弹性波器件，包含：

压电基板，具有相对的第一表面和第二表面；

弹性波组件，设置在所述压电基板的第一表面上；

第二布线，设置在所述压电基板的第一表面上，所述第二布线包括沿第一方向布置的桥接部；

第一绝缘体，设置在所述桥接部的上表面上，所述第一绝缘体沿第一方向布置；

第一布线，设置在所述压电基板上并连接所述弹性波组件，所述第一布线包括隔着所述第一绝缘体与所述第二布线的桥接部立体交叉的立体布线部、以及分别连接所述桥接部沿第一方向上的两端的第一连接部和第二连接部，所述立体布线部沿第二方向布置；

所述第一方向与所述第二方向交叉设置；所述第一绝缘体在沿第一方向上的尺寸大于沿第二方向上的尺寸。

在一更佳的实施例中，所述第一绝缘体沿第一方向上具有相对的第一端和第二端；

所述第一连接部覆盖所述第一端和/或所述第二连接部覆盖所述第二端。

在一更佳的实施例中，所述第二布线包括设置在所述第一布线下表面的扩展部，所述扩展部在所述压电基板上的投影位于所述第一布线在所述压电基板上投影的范围之内，并且所述扩展部在所述压电基板上的投影位于所述第一绝缘体在所述压电基板上投影的范围之外。

在一更佳的实施例中，所述扩展部在所述压电基板上投影的边缘与所述第一布线在所述压电基板上投影的边缘的间距大于2μm。

在一更佳的实施例中，所述第一绝缘体的厚度在0.5μm以上且2.0μm以下。

在一更佳的实施例中，所述第二布线的厚度在1.2μm以上且6.0μm以下。

在一更佳的实施例中，所述第二布线由电阻率低于2.5×10^-8Ω·m的导电材料制成。

在一更佳的实施例中，所述第二布线的厚度在0.5μm以上且3.0μm以下。