[发明专利]一种弹性波器件以及使用其的弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波器件，包含：

压电基板，具有相对的第一表面和第二表面；

弹性波组件，设置在所述压电基板的第一表面上；

第二布线，设置在所述压电基板的第一表面上，所述第二布线包括沿第一方向布置的桥接部；

第一绝缘体，设置在所述桥接部上，所述第一绝缘体沿第一方向布置；

第一布线，设置在所述压电基板上并连接所述弹性波组件，所述第一布线包括隔着所述第一绝缘体与所述第二布线的桥接部立体交叉的立体布线部、以及分别连接所述桥接部沿第一方向上的两端的第一连接部和第二连接部，所述立体布线部沿第二方向布置；

所述第一方向与所述第二方向交叉设置；所述第一绝缘体在沿第一方向上的尺寸大于沿第二方向上的尺寸。

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述第一绝缘体沿第一方向上具有相对的第一端和第二端；

所述第一连接部覆盖所述第一端和/或所述第二连接部覆盖所述第二端。

3.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述第二布线包括设置在所述第一布线下表面的扩展部，所述扩展部在所述压电基板上的投影位于所述第一布线在所述压电基板上投影的范围之内，并且所述扩展部在所述压电基板上的投影位于所述第一绝缘体在所述压电基板上投影的范围之外。

4.根据权利要求3所述的弹性波器件，其特征在于：所述扩展部在所述压电基板上投影的边缘与所述第一布线在所述压电基板上投影的边缘的间距大于2μm。

5.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述第一绝缘体的厚度在0.5μm以上且2.0μm以下。

6.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述第二布线的厚度在1.2μm以上且6.0μm以下。

7.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述第二布线由电阻率低于2.5×10^-8Ω·m的导电材料制成。

8.根据权利要求7所述的弹性波器件，其特征在于：所述第二布线的厚度在0.5μm以上且3.0μm以下。

9.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述第一绝缘体具有位于所述桥接部的一侧的第一侧面和位于所述桥接部的另一侧的第二侧面，所述第一侧面和所述第二侧面设为斜面；所述第一侧面和所述第二侧面与所述压电基板的第一表面的倾斜角在55°以下。

10.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述第一绝缘体具有位于所述桥接部的一侧的第一侧面和位于所述桥接部的另一侧的第二侧面，所述第一侧面和所述第二侧面设为弧面；所述第一侧面和所述第二侧面的各点切线相对于压电基板的第一表面的倾斜角在55°以下。

11.根据权利要求10所述的弹性波器件，其特征在于：所述第一侧面和所述第二侧面的各点切线相对于基板的第一表面的倾斜角自上而下依次递增。

12.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述弹性波组件包括形成于所述压电基板的指叉状电极和反射器，所述指叉状电极包括一对相向设置的梳状电极，所述梳状电极各自具有多个电极指和连接于所述电极指的汇流条，所述反射器设置在所述指叉状电极的两侧。

13.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件还包括：第二绝缘体，覆盖所述第一布线、所述第一绝缘体、和所述第二布线。