[发明专利]方棒几何参数检测机及检测方法在审

专利信息
申请号: 202310304856.7 申请日: 2023-03-21
公开(公告)号: CN116182667A 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 陈浩 申请(专利权)人: 杭州固方机电有限公司
主分类号: G01B5/02 分类号: G01B5/02;G01B5/08;G01B5/24;G01B5/245;G01B5/00;G01B11/02;G01B11/08;G01B11/26
代理公司: 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 代理人: 周炤隆
地址: 310000 浙江省杭州市余杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 几何 参数 检测 方法
【说明书】:

本申请公开了一种方棒几何参数检测机及检测方法,方棒几何参数检测机包括机座、支撑机构、检测机构、驱动机构和控制器,支撑机构安装在机座上,支撑机构上设有标准块、方棒、激光测距传感器,检测机构包括检测基板、接触式测量传感器,检测基板上设有供方棒与支撑机构通过的通道,接触式测量传感器用于感应方棒的横截面位点信息,驱动机构与检测基板相连以驱动检测基板前后往复移动,控制器用于控制检测机中各电气元件的工作情况,根据激光测距传感器和接触式测量传感器检测到的信息计算方棒的几何参数值,该方棒几何参数检测机根据检测参数需求精准获取方棒对应的几何参数值,参数检测准确度及检测效率高,可检测的方棒几何参数类型多。

技术领域

发明属于的技术领域,尤其涉及方棒几何参数检测机及检测方法。

背景技术

在太阳能单晶硅片制造过程中,需要将单晶硅棒磨削切方制成单晶方棒。为了保证单晶方棒的产品质量,需要在出厂及生产工序中对对单晶方棒的几何参数信息如长度、垂直度等进行检测工作。传统的方棒检测工作一般由人工进行,随着技术发展,人们研发了方棒全自动检测机已经行自动化检测,现有的方棒全自动检测机存在检测精度不够高,方棒几何参数可检测项数较少等问题。

发明内容

本发明的目的就是解决背景技术中的问题,提出一种方棒几何参数检测机及检测方法。

为实现上述目的,本发明提出了一种方棒几何参数检测机,包括:

机座;

支撑机构,所述支撑机构安装在机座上,支撑机构上安装有标准块、检测方棒长度用的激光测距传感器,支撑机构上放置有待检测的方棒,所述标准块中部设有通孔;

检测机构,所述检测机构包括检测基板、安装在检测基板上的若干接触式测量传感器,所述检测基板上设有供方棒与支撑机构通过的通道,所述接触式测量传感器用于感应方棒和标准块的横截面位点信息;

驱动机构,所述驱动机构安装在机座上,驱动机构与检测基板相连,用于驱动检测基板前后往复移动;

控制器,所述控制器用于控制检测机中各电气元件的工作情况,根据激光测距传感器检测到的长度信息和接触式测量传感器检测到的横截面位点信息计算方棒的几何参数值,几何参数值包括方棒的长度、边长、垂直度、锥度、直径、弦长、弦长投影中的至少一种。

作为优选,所述支撑机构包括支撑立板和支撑横杆,两根支撑横杆相平行设置并形成有与方棒、标准块侧面相适应的V形限位区,支撑横杆的两端分别与两块支撑立板相连,支撑横杆安装有标准块固定板和若干接触块,所述激光测距传感器安装在支撑立板上。

作为优选,所述标准块固定板上安装有可移动的顶紧块,标准块固定板设有卡口,所述标准块放置在标准块固定板的卡口处并用螺钉使得顶紧块将标准块紧贴固定在标准块固定板上。

作为优选,所述驱动机构包括主动丝杠滑块模组、从动丝杠滑块模组,所述主动丝杠滑块模组的丝杠与第一伺服电机相连,所述检测基板的两端分别与主动丝杠滑块模组、从动丝杠滑块模组上滑块相连。

作为优选,其中部分所述接触式测量传感器由线性模组控制其以移动使得该接触式测量传感器与方棒、标准块感应以获取横截面位点信息。

作为优选,所述检测基板的正面安装有若干吹气喷嘴、位移传感器,检测基板的反面安装有端面测长传感器,所述吹气喷嘴的喷嘴口朝向所述通道设置。

作为优选,所述检测基板底部安装有光栅尺。

作为优选,所述检测基板底部安装有若干防撞杆,所述检测基板底部一侧安装有光电开关挡片,所述机座上设有两个光电开关座,所述检测基板移动至最大限位时光电开关挡片挡住光电开关座。

本发明还提出了一种基于上述方棒几何参数检测机的检测方法,包括以下几个步骤:

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