[发明专利]磷烷法生产高纯红磷生产工艺在审
申请号: | 202310237145.2 | 申请日: | 2023-03-13 |
公开(公告)号: | CN116374969A | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 黄小华;聂林涛;陈龙;高雯 | 申请(专利权)人: | 陕西铟杰半导体有限公司 |
主分类号: | C01B25/023 | 分类号: | C01B25/023 |
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地址: | 727031 陕西省铜川市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磷烷法 生产 高纯 红磷 生产工艺 | ||
本发明公开了磷烷法生产高纯红磷生产工艺,属于红磷生产工艺领域,包括以下步骤:S1:一级间歇精馏。外购纯度99%的PHsubgt;3/subgt;,置于一级间歇精馏塔的塔釜中。S2:二级间歇精馏。将一级精馏得到的PHsubgt;3/subgt;精馏液,导入到二次精馏塔的塔釜中。S3:闪蒸操作。将高纯的PHsubgt;3/subgt;引入闪蒸罐中,对磷烷进行闪蒸操作。S4:磷烷分解。将高纯度的PHsubgt;3/subgt;通入全混流反应器中,在催化剂的作用下,持续推进磷烷的分解反应。S5:磷转化操作。将还原后的白磷装入石英转化炉中,经转化得到符合要求的红磷晶体。本发明的核心步骤为:磷烷精馏、磷烷热解;而传统的氯化法工艺核心步骤包括酸洗、氯化、精馏、还原等工序。相比之下,本发明的过程更加简捷、安全、高效和环境友好。
技术领域
本发明涉及红磷生产工艺技术领域,尤其涉及磷烷法生产高纯红磷生产工艺。
背景技术
三氯化磷:无机化合物,化学式为PCl3,是一种无色透明液,遇水会剧烈分解;高纯红磷:纯度99.9999%以上的红磷,称为高纯红磷,也叫电子级红磷,在电子掺杂和磷化铟、磷化镓等化合物半导体材料制造方面,应用广泛。
现有高纯红磷的生产技术主要有氯化法、蒸馏法、电泳法等技术。其中氯化法是当前高纯红磷生产使用的主要技术,目前多使用该方法生产高纯红磷,一是工艺流程复杂,主要过程多达7个:酸洗、氯化、存储、精馏、氢化还原、除酸、转化;二是危险系数高,参考图5所示,白磷的氯化反应非常剧烈,极易发生爆炸,且引入了剧毒气体氯气作为原料气,反应过程危险系数极大,因此,我们设计磷烷法生产高纯红磷生产工艺。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的磷烷法生产高纯红磷生产工艺。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
磷烷法生产高纯红磷生产工艺,包括以下步骤:
S1:一级间歇精馏。外购纯度99%的PH3,置于第一级间歇精馏塔的塔釜中,精确控制精馏塔温度在-80~-75℃之间,利用主成分PH3沸点与其他杂质的沸点差异,从而对PH3进行提纯,设制一级回流比为0.6,一级精馏全过程时间约为3hr,PH3的纯度可达99.99%。
S2:二级间歇精馏。将一级精馏得到的PH3精馏液,导入到二次精馏塔的塔釜中,控制精馏塔温度在-75℃~-70℃之间,恒温4.5hr,设制二级回流比为0.45,经二级精馏,塔顶的PH3纯度可达99.99995%。
S3:闪蒸操作。将高纯的PH3引入闪蒸罐中,对磷烷进行闪蒸操作,在进一步提纯磷烷的同时,逐步对磷烷升温至20℃。
S4:磷烷分解。将高纯度的PH3通入耐压耐腐蚀的全混流反应器中,首先快速加热到250℃左右,然后缓慢加热到450℃,在FeP、CoP等催化剂的作用下,持续推进磷烷的分解反应,再1.5hr后,自然降温冷却,分解产生的H2直接放空或者导入H2储罐中回收,而分解后的高纯度白磷沉积于反应器底部的特殊储罐中。
S5:磷转化操作。将还原后的白磷装入石英转化管后,置于转化炉内,在惰性气体(高纯氮气或者氩气)的保护下升温至450℃,恒温35hr后,白磷即转化为符合要求的红磷晶体。
本发明的有益效果为:
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