[发明专利]磷烷法生产高纯红磷生产工艺在审

专利信息
申请号: 202310237145.2 申请日: 2023-03-13
公开(公告)号: CN116374969A 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 黄小华;聂林涛;陈龙;高雯 申请(专利权)人: 陕西铟杰半导体有限公司
主分类号: C01B25/023 分类号: C01B25/023
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 727031 陕西省铜川市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 磷烷法 生产 高纯 红磷 生产工艺
【权利要求书】:

1.磷烷法生产高纯红磷生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:

S1:一级间歇精馏。外购纯度99%的PH3,置于第一级间歇精馏塔的塔釜中,精确控制精馏塔温度在-80~-75℃之间,利用主成分PH3沸点与其他杂质的沸点差异,从而对PH3进行提纯,设制一级回流比为0.6,一级精馏全过程时间约为3hr,PH3的纯度可达99.99%。

S2:二级间歇精馏。将一级精馏得到的PH3精馏液,导入到二次精馏塔的塔釜中,控制精馏塔温度在-75℃~-70℃之间,恒温4.5hr,设制二级回流比为0.45,经二级精馏,塔顶的PH3纯度可达99.99995%。

S3:闪蒸操作。将高纯的PH3引入闪蒸罐中,对磷烷进行闪蒸操作,在进一步提纯磷烷的同时,逐步对磷烷升温至20℃。

S4:磷烷分解。将高纯度的PH3通入耐压耐腐蚀的全混流反应器中,首先快速加热到250℃左右,然后缓慢加热到450℃,在FeP、CoP等催化剂的作用下,持续推进磷烷的分解反应,再1.5hr后,自然降温冷却,分解产生的H2直接放空或者导入H2储罐中回收,而分解后的高纯度白磷沉积于反应器底部的特殊储罐中。

S5:磷转化操作。将还原后的白磷装入石英转化管后,置于转化炉内,在惰性气体(高纯氮气或者氩气)的保护下升温至450℃,恒温35hr后,白磷即转化为符合要求的红磷晶体。

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