[发明专利]一种ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法在审
申请号: | 202310235710.1 | 申请日: | 2023-03-13 |
公开(公告)号: | CN116598374A | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 彭嘉隆;吴茴;朱志宏;张检发;郭楚才;刘肯;徐威;杨镖;袁晓东 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/109;H01L31/032;C23C16/40;C23C16/30 |
代理公司: | 国防科技大学专利服务中心 43202 | 代理人: | 关洪涛 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 zno znse ag 纳米 复合材料 制备 方法 | ||
1.一种ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、对FTO衬底进行清洗处理;
S2、在FTO衬底上旋涂ZnO籽晶层;
S3、通过水热法生长ZnO纳米棒阵列;
S4、通过化学气相沉积法制备ZnO/ZnSe核壳异质结;
S5、制备ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料。
2.根据权利要求1所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S1具体为:先用丙酮、无水乙醇和去离子水依次超声清洗FTO衬底,再放通风橱干燥,将干燥后的FTO导电玻璃用等离子机再清洗,取出待用。
3.根据权利要求1所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S2具体为:配置4~6mmol/L醋酸锌溶液,用胶头滴管取醋酸锌溶液滴在清洗干净的FTO衬底上,以低速500r旋涂10s、高速3000r旋涂15s,放60℃加热板上干燥,重复2~3次,得到ZnO籽晶层,再将上述产物在300℃高温下煅烧20min。
4.根据权利要求1所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S3具体为:配置0.04~0.06mmol/L的六水合硝酸锌溶液与六次甲基四胺溶液作为前驱体溶液,将附着有ZnO籽晶层的FTO导电玻璃置于前驱体溶液中反应3~4小时,取出FTO用去离子水缓慢冲洗,晾干后再重复生长过程2~3次,得到ZnO纳米棒阵列,再将ZnO纳米棒在300℃、惰性气体氩气下退火30min,冷却待用。
5.根据权利要求1所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S4具体为:将ZnO纳米棒放在石英舟中置于化学气相沉积反应炉子的石英管一端,装有Se粉的石英舟置于石英管的另一端,密封好石英管后,通入气流量500sccm左右的氩气,清洗管道10min,保证氩气先通过Se粉,再通过ZnO纳米棒,装有ZnO纳米棒的石英舟所在区域温度设置为400℃,装有Se粉的石英舟所在区域温度设置为270℃,硒化时间设置为10min,管道清洗后,通入比例为95:5的氩气和氢气,待温度升高进行反应,冷却后取出,得到产物ZnO/ZnSe核壳异质结。
6.根据权利要求1所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S5具体为:将银纳米颗粒溶液在10000转速度下离心5min,用移液枪取下层溶液滴在ZnO/ZnSe核壳异质结上,施加外力使得Ag离子分散在ZnO/ZnSe核壳异质结上,最终制备出ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料。
7.根据权利要求1所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S5后还包括:
S6、ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料光电化学性能测试。
8.根据权利要求7所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S6具体为:将制备好的最终产物ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料作为电化学工作站三电极系统的工作电极,光源采用波长范围为430~720nm的LED白光光源,将Ag/AgCl电极作为参比电极,铂电极作为对电极,测试ZnO/ZnSe/Ag材料的光电流、暗电流、瞬态响应,同上述条件,对ZnO纳米棒与ZnO/ZnSe核壳异质结进行光电化学测试,最终比较电极的光电性能。
9.根据权利要求4所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述ZnO纳米棒的长度为6.4um。
10.根据权利要求8所述的ZnO/ZnSe/Ag纳米复合材料的制备方法,其特征在于,所述光电流的最大值为673.7mA/cm-2,响应时间为1.803ms。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国人民解放军国防科技大学,未经中国人民解放军国防科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202310235710.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的