[发明专利]用于晶圆安装的蜡涂覆设备及相关的晶圆安装设备

权利要求书

1.一种蜡涂覆设备，用于晶圆安装，所述蜡涂覆设备包括：

真空吸盘，提供真空压力的真空流道嵌入在所述真空吸盘中；

加热盘，所述加热盘被安装在所述真空吸盘的上侧部上并且具有孔和凹槽，所述孔和凹槽被连接到所述真空吸盘的真空流道，以吸附块部，晶圆被粘附到所述块部；

旋转轴，所述旋转轴被连接到所述真空吸盘的下侧部；

驱动马达，所述驱动马达用于使所述旋转轴旋转；以及

蜡喷嘴，所述蜡喷嘴被布置成与所述真空吸盘的上侧部间隔开，

其中，所述加热盘被操作成在所述蜡喷嘴将蜡喷涂到所述块部上时对所述块部进行加热。

2.根据权利要求1所述的蜡涂覆设备，其中，在所述蜡喷嘴将所述蜡喷涂到所述块部时，所述驱动马达通过所述旋转轴使所述真空吸盘旋转，并且

所述加热盘与所述驱动马达和所述蜡喷嘴中的至少一个组合地被操作。

3.根据权利要求1所述的蜡涂覆设备，其中，所述加热盘通过多个紧固部件来安装在所述真空吸盘的上侧部上，所述多个紧固部件在周向方向上以预定间隔布置。

4.根据权利要求1所述的蜡涂覆设备，其中，所述加热盘由圆盘形状部构成，所述圆盘形状部的直径小于所述块部的直径且大于所述块部的半径。

5.根据权利要求1所述的蜡涂覆设备，其中，所述加热盘包括上盘和加热器，所述上盘由金属制成，所述加热器被粘附到所述上盘的下侧部。

6.根据权利要求5所述的蜡涂覆设备，其中，所述上盘包括：在所述上盘的中心处的中心孔，所述中心孔与所述真空吸盘的真空流道连通，

一对线形凹槽，所述一对线形凹槽基于所述中心孔彼此交错，以及

环形凹槽，所述环形凹槽使所述线形凹槽的两个端部彼此连接。

7.一种晶圆安装设备，所述晶圆安装设备包括：

块部装载单元，所述块部装载单元提供块部；

晶圆装载单元，晶圆装载单元提供晶圆；

根据权利要求1至6中任一项所述的蜡涂覆设备，所述蜡涂覆设备对所述块部进行加热，同时将蜡涂覆到从所述块部装载单元提供的所述块部；以及

晶圆粘附单元，所述晶圆粘附单元将所述晶圆粘附到所述块部的涂覆有蜡的表面，所述晶圆从所述晶圆装载单元提供，所述块部从所述蜡涂覆单元提供。