[发明专利]真空蒸镀机架总成

说明书

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是真空蒸镀机架总成，包括壳体、蒸发源和底托，蒸发源设置于壳体底部，底托设置于蒸发源正上方，镀膜架，设置于底托上方，所述镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔；夹持组件，设置有多组，均匀分布于放置孔侧壁，对放置孔内的基片进行夹持。本发明设置有翻转组件，能够对镀膜架进行翻转，从而在不停止机器的前提下将放置在放置孔内的基材进行翻面，实现双面镀膜；同时设置有夹持组件，能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定，保证基片在翻转时不会掉落；利用机器内部的本身的高温配合气体遇热膨胀的特性对夹持组件提供动力，能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是真空蒸镀机架总成。

背景技术

真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法，多用于对眼镜片的加工。

现有的真空蒸镀机：由壳体、底部蒸发源和蒸发源上方的镀膜架组成，壳体密封且内部形成真空条件后，蒸发源启动原料被升华至镀膜架上的基材表面形成镀膜。

蒸镀机镀膜流程：在蒸镀前，将基片平铺在镀膜架的槽孔中，基片下表面镀膜完成后将镀膜架取出，而后将每个基片翻转进行二次镀膜，从而完成对基片的全面镀膜。

但是其还存在一些不足之处：

由于镀膜架和基片之间没有较为牢固的固定方式，因此对基片的两个面进行镀膜时需停下机器进行人工的基片翻转操作，影响整体效率；

因此需要一种真空蒸镀机架总成来解决上述的问题。

发明内容

本发明提供如下技术方案：真空蒸镀机架总成，包括壳体、蒸发源和底托，蒸发源设置于壳体底部，底托设置于蒸发源正上方，镀膜架，设置于底托上方，所述镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔；

夹持组件，设置有多组，均匀分布于放置孔侧壁，对放置孔内的基片进行夹持，所述夹持组件包括开设于镀膜架内部的密封腔，密封腔内部插设有夹持杆，夹持杆远离放置孔的一端连接有密封头，所述镀膜架内部开设有储存腔，储存腔和密封腔之间开设有用于连通的支通道，储存腔内部充入有可膨胀的气体，所述夹持杆于蒸镀进行时受气体膨胀压出呈伸出状态，所述夹持杆于伸出状态下夹紧放置孔内的基片。

优选的，翻转组件，设置于底托外部，对底托和镀膜架进行翻转操作，所述翻转组件包括两组连接杆和翻转电机，两组所述连接杆对称设置于底托两侧，皆转动连接于壳体侧壁，其中一组连接杆连接有安装于壳体侧壁的翻转电机。

优选的，所述镀膜架侧壁均匀连接有四组挂耳，挂耳正下方的底托内部开设有螺纹孔。

优选的，所述密封头背离夹持杆的一端连接有密封塞。

优选的，所述夹持杆外壁缠绕有弹簧。

优选的，所述密封腔内壁设置有限位环。

优选的，所述夹持杆靠近基片的一侧为匹配于基片外壁的圆弧状。

优选的，多组所述储存腔之间通过连通通道相互连通。

优选的，所述储存腔内部充入有氮气。

优选的，所述放置孔包括b1和b2，b1的直径大于b2的直径。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

该真空蒸镀机架总成设置有翻转组件，能够对镀膜架进行翻转，从而在不停止机器的前提下将放置在放置孔内的基材进行翻面，实现双面镀膜；

同时设置有夹持组件，利用机器内部的本身的高温配合气体遇热膨胀的特性对夹持组件提供动力，能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定，保证基片在翻转时不会掉落，保证对基片夹持的牢固性。