[发明专利]真空蒸镀机架总成

权利要求书

1.真空蒸镀机架总成，包括壳体(110)、蒸发源(120)和底托(130)，蒸发源(120)设置于壳体(110)底部，底托(130)设置于蒸发源(120)正上方，其特征在于：

镀膜架(160)，设置于底托(130)上方，所述镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔(170)；

夹持组件，设置有多组，所述夹持组件均匀分布于放置孔(170)侧壁，对放置孔(170)内的基片进行夹持，所述夹持组件包括开设于镀膜架(160)内部的密封腔(220)，密封腔(220)内部插设有夹持杆(230)，夹持杆(230)远离放置孔(170)的一端连接有密封头(240)，所述镀膜架(160)内部开设有储存腔(210)，储存腔(210)和密封腔(220)之间开设有用于连通的支通道(280)，储存腔(210)内部充入有气体，所述夹持杆(230)于蒸镀进行时受气体膨胀压出呈伸出状态，所述夹持杆(230)于伸出状态下夹紧放置孔(170)内的基片。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀机架总成，其特征在于：

翻转组件，设置于底托(130)外部，对底托(130)和镀膜架(160)进行翻转操作，所述翻转组件包括两组连接杆(140)和翻转电机(150)，两组所述连接杆(140)对称设置于底托(130)两侧，且两组连接杆(140)皆转动连接于壳体(110)侧壁，所述壳体(110)外壁安装有翻转电机(150)，底托(130)通过连接杆(140)与翻转电机(150)的转轴固定连接。

3.根据权利要求1所述的真空蒸镀机架总成，其特征在于：所述镀膜架(160)侧壁均匀连接有四组挂耳(161)，挂耳(161)正下方的底托(130)内部开设有螺纹孔。

4.根据权利要求2所述的真空蒸镀机架总成，其特征在于：所述密封头(240)背离夹持杆(230)的一端连接有密封塞(250)。

5.根据权利要求2所述的真空蒸镀机架总成，其特征在于：所述夹持杆(230)外壁缠绕有弹簧(260)。

6.根据权利要求2所述的真空蒸镀机架总成，其特征在于：所述密封腔(220)内壁设置有限位环(270)。

7.根据权利要求5所述的真空蒸镀机架总成，其特征在于：所述夹持杆(230)靠近基片的一侧为匹配于基片外壁的圆弧状。

8.根据权利要求5所述的真空蒸镀机架总成，其特征在于：多组所述储存腔(210)之间通过连通通道(290)相互连通。