[发明专利]一种具有等厚镀层功能的集成电路板的电镀装置在审
申请号: | 202310051203.2 | 申请日: | 2023-02-02 |
公开(公告)号: | CN116254587A | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 肖笛 | 申请(专利权)人: | 无锡华友微电子有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/08;C25D7/00;C25D21/10;H05K3/18 |
代理公司: | 江苏无锡苏汇专利代理事务所(普通合伙) 32593 | 代理人: | 沈彬彬 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 镀层 功能 集成 电路板 电镀 装置 | ||
1.一种具有等厚镀层功能的集成电路板的电镀装置,其特征在于:该电镀装置包括电镀池(1),所述电镀池(1)上设置有电镀液循环管(2),所述电镀池(1)内设置有电镀支架(3),所述电镀支架(3)上设置有电镀盒(4),所述电镀盒(4)内设置有电镀组件(5),所述电镀支架(3)与电镀池(1)内壁滑动连接,所述电镀池(1)上设置有酸洗槽(6),所述酸洗槽(6)内设置有运送轨道(7),酸洗槽(6)与电镀池(1)连通,所述电镀池(1)一侧设置有漂洗轨道(8),所述电镀池(1)内设置有过渡连杆(9),所述过渡连杆(9)端部设置有用作转移工件的夹持部件,所述电镀池(1)内设置有刻蚀盒(10),所述刻蚀盒(10)与电镀池(1)内壁滑动连接,所述电镀池(1)一侧设置有镀镍池(11),所述镀镍池(11)上设置有酸洗轨道(12),所述酸洗轨道(12)与镀镍池(11)连通,所述酸洗轨道(12)上设置有烘干组件,所述电镀池(1)上设置有数控盒(13),所述数控盒(13)通过导线与电镀池(1)、运送轨道(7)、酸洗槽(6)、镀镍池(11)连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有等厚镀层功能的集成电路板的电镀装置,其特征在于:所述酸洗槽(6)内设置有多个酸洗盒(601),相邻所述酸洗盒(601)之间通过过滤导管(602)连接,所述过滤导管(602)内设置有过滤网(603),所述过滤网(603)与过滤导管(602)滑动连接,过滤导管(602)上设置有滑动弹簧(604),所述滑动弹簧(604)两端分别抵住过滤网(603)、过滤导管(602),所述过滤导管(602)靠近过滤网(603)处设置有收杂管(605),所述收杂管(605)与过滤导管(602)连通,所述酸洗槽(6)内设置有运送履带(606),所述运送履带(606)上设置有运送架(607),运送架(607)上设置有旋转夹爪(608),所述旋转夹爪(608)与运送架(607)旋转连接,所述运送架(607)与运送履带(606)上的链条旋转连接。
3.根据权利要求2所述的一种具有等厚镀层功能的集成电路板的电镀装置,其特征在于:所述旋转夹爪(608)包括旋转盘(609),所述旋转盘(609)内设置有多个夹紧楔块(610),每个所述夹紧楔块(610)分别与旋转盘(609)滑动连接,所述旋转盘(609)内设置有夹紧弹簧(611),所述夹紧弹簧(611)两端分别抵住夹紧楔块(610)与旋转盘(609),所述旋转盘(609)与运送架(607)连接,所述运送架(607)上设置有夹紧电机(612),所述夹紧电机(612)输出端穿过旋转盘(609)并与旋转盘(609)旋转连接,所述夹紧电机(612)输出端上设置有捕捉夹(613),所述捕捉夹(613)与夹紧楔块(610)滑动接触。
4.根据权利要求1所述的一种具有等厚镀层功能的集成电路板的电镀装置,其特征在于:所述电镀支架(3)上设置有阻隔板(301),所述阻隔板(301)嵌入到电镀池(1)内并与电镀池(1)壁滑动连接,所述电镀池(1)上设置有升降气缸(302),所述升降气缸(302)输出端与电镀支架(3)连接,所述电镀支架(3)上设置有滑移槽(303),所述电镀盒(4)通过滑移槽(303)与电镀支架(3)滑动连接,所述电镀盒(4)内设置有多个夹取环(304),所述夹取环(304)通过导线与电镀组件(5)连接。
5.根据权利要求4所述的一种具有等厚镀层功能的集成电路板的电镀装置,其特征在于:所述夹取环(304)包括夹取框架(305),所述夹取框架(305)上设置有接收片(306),所述接收片(306)与夹取框架(305)旋转连接,所述接收片(306)靠近夹取框架(305)一端设置有传动轴(307),所述传动轴(307)上设置有多个夹取楔块(316),所述夹取框架(305)上设置有多个夹紧块(308),每个所述夹紧块(308)分别与夹取框架(305)滑动连接,所述夹紧块(308)上设置有夹取弹簧(309),所述夹取弹簧(309)两端分别抵住夹取框架(305)与夹紧块(308),所述夹紧块(308)靠近夹取框架(305)一端与夹取楔块(316)滑动接触。
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