[实用新型]光化学蚀刻吸水装置及生产装置有效

专利信息
申请号: 202223549484.4 申请日: 2022-12-28
公开(公告)号: CN219019160U 公开(公告)日: 2023-05-12
发明(设计)人: 高小君;闫奋娥 申请(专利权)人: 昆山倬跃蓝天电子科技有限公司
主分类号: H05K3/06 分类号: H05K3/06
代理公司: 苏州大成君合知识产权代理事务所(普通合伙) 32547 代理人: 张伯坤
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 光化学 蚀刻 吸水 装置 生产
【权利要求书】:

1.光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,包括错开设置的第一吸水组件和第二吸水组件,所述第一吸水组件和所述第二吸水组件分别设置于光化学蚀刻生产线的两侧;

所述第一吸水组件包括第一摆杆和若干第一转轴,所述第一转轴转动地设置于所述第一摆杆,在第一转轴套设第一吸水海绵棒;

所述第二吸水组件包括第二摆杆和若干第二转轴,所述第二转轴转动地设置于所述第二摆杆,在第二转轴套设第二吸水海绵棒;

所述第一吸水海绵和所述第二吸水海绵棒错开设置。

2.如权利要求1所述的光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,所述第一摆杆由第一电机驱动,所述第二摆杆由第二电机驱动。

3.如权利要求2所述的光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,至少一根所述第一吸水海绵棒设置第一水含量传感器。

4.如权利要求3所述的光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,第二根所述第一吸水海绵棒设置第一水含量传感器。

5.如权利要求2所述的光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,至少一根所述第二吸水海绵棒设置第二水含量传感器。

6.如权利要求5所述的光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,第二根所述第二吸水海绵棒设置第二水含量传感器。

7.如权利要求2所述的光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,所述第一转轴设置四个,在第二根所述第一吸水海绵棒设置第一水含量传感器。

8.如权利要求2所述的光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,所述第二转轴设置四个,在第二根所述第二吸水海绵棒设置第二水含量传感器。

9.如权利要求2-8任一所述的光化学蚀刻吸水装置,其特征在于,所述第一电机设置第一脚踏开关,所述第二电机设置第二脚踏开关。

10.光化学蚀刻生产装置,其特征在于,包括如权利要求1-9任一所述的光化学蚀刻吸水装置。

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