[实用新型]一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装

说明书

本实用新型公开了一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其属于磁悬浮分子泵仪器领域，其技术要点在于，包括：芯轴上工装、芯轴下工装、灌封底座；芯轴上工装为圆筒状结构，所述圆周侧壁部的上端面设置有上端面板；所述圆周侧壁部的下部间隔设置有凸出板，相邻的凸起板之间形成有芯轴上工装容纳槽；所述凸出板的方向沿着圆周侧壁部向下延伸；在芯轴下工装本体的外周部设置有凸出部、插入槽；相邻的凸出部之间设置有插入槽；芯轴下工装本体的凸出部插入到芯轴上工装容纳槽中，芯轴上工装的凸出板插入到芯轴下工装本体的插入槽中。本实用新型旨在提供一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，灌封胶固化后易于脱模，组装拆卸更便捷。

技术领域

本实用新型涉及一种磁悬浮分子泵领域这一技术领域，具体涉及一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装。

背景技术

随着真空分子泵的不断升级至今，将油润滑和脂润滑分子泵升级到现在的磁悬浮分子泵，磁悬浮分子泵所使用的磁轴承是一种高性能轴承，它利用线圈所产生的磁力作用将磁悬浮分子泵的主轴悬浮于空中，使主轴与轴承座定子之间没有机械接触。在分子泵上电后，通过控制电路使磁轴承的磁场把分子泵主轴保持在分子泵中心位置。同时磁轴承具有能耗低、噪声小、寿命长、无需润滑、无油污染等优点，可满足磁悬浮分子泵在高速、真空的使用需求。

磁轴承一般由硅钢片和线圈绕组两部分组成，为提高磁轴承的稳定运行的可靠性，散热均匀。

常规的磁轴承灌封工装(例如：CN107546904A)气密性差，脱模困难等问题，大概率造成灌胶时漏胶，导致一次灌封不满足工艺要求需要二次补胶等问题，灌封后的磁轴承外壁溢胶，清理不变耗费工时。

综上所述，设计制作一种灌封时胶量稳定，不易漏胶，并能使灌封后的磁轴承灌封工装是必须的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装。

本实用新型的技术方案如下：

一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，包括：芯轴上工装、芯轴下工装、灌封底座；所述芯轴上工装、所述芯轴下工装、所述灌封底座从上至下依次设置；

其中，芯轴上工装为圆筒状结构，其包括：上端面板、圆周侧壁部；所述圆周侧壁部的上端面设置有上端面板；所述圆周侧壁部的下部间隔设置有凸出板，相邻的凸出板之间形成有芯轴上工装容纳槽；所述凸出板的方向沿着圆周侧壁部向下延伸；

其中，所述芯轴下工装包括：芯轴下工装本体；在芯轴下工装本体的中部设置有贯通孔，在芯轴下工装本体的外周部设置有凸出部、插入槽；相邻的凸出部之间设置有插入槽；

芯轴下工装本体的凸出部插入到芯轴上工装容纳槽中，芯轴上工装的凸出板插入到芯轴下工装本体的插入槽中。

优选的，所述灌封底座包括:底座第一部、底座安装槽、底座第二部；所述底座第一部设置在灌封底座的中心，其形状为圆盘状；所述底座第二部的形状为环状，所述底座第一部与所述底座第二部之间设置有底座安装槽；

所述底座第一部与所述芯轴下工装本体的下部的开口适配，所述芯轴下工装本体的下端面插入到所述底座安装槽中。

优选的，所述灌封底座还包括：底座周圈凸起台阶，所述底座周圈凸起台阶设置在所述底座第二部的外周部。

优选的，所述磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装还包括：密封圈；在芯轴下工装本体的下端面与灌封底座的底座第一之间还设置有密封圈。

优选的，所述密封圈采用橡胶圈。

优选的，所述凸出部以及所述插入槽的数量均为多个且所述凸出部、所述插入槽的数量相同。

优选的，所述凸出部以及所述插入槽均匀布置。