[实用新型]一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装

权利要求书

1.一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，包括：芯轴上工装、芯轴下工装、灌封底座；所述芯轴上工装、所述芯轴下工装、所述灌封底座从上至下依次设置；

其中，芯轴上工装为圆筒状结构，其包括：上端面板、圆周侧壁部；所述圆周侧壁部的上端面设置有上端面板；所述圆周侧壁部的下部间隔设置有凸出板，相邻的凸出板之间形成有芯轴上工装容纳槽；所述凸出板的方向沿着圆周侧壁部向下延伸；

其中，所述芯轴下工装包括：芯轴下工装本体；在芯轴下工装本体的中部设置有贯通孔，在芯轴下工装本体的外周部设置有凸出部、插入槽；相邻的凸出部之间设置有插入槽；

芯轴下工装本体的凸出部插入到芯轴上工装容纳槽中，芯轴上工装的凸出板插入到芯轴下工装本体的插入槽中。

2.根据权利要求1所述的一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，所述灌封底座包括:底座第一部、底座安装槽、底座第二部；所述底座第一部设置在灌封底座的中心，其形状为圆盘状；所述底座第二部的形状为环状，所述底座第一部与所述底座第二部之间设置有底座安装槽；

所述底座第一部与所述芯轴下工装本体的下部的开口适配，所述芯轴下工装本体的下端面插入到所述底座安装槽中。

3.根据权利要求2所述的一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，所述灌封底座还包括：底座周圈凸起台阶，所述底座周圈凸起台阶设置在所述底座第二部的外周部。

4.根据权利要求2或3所述的一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，所述磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装还包括：密封圈；在芯轴下工装本体的下端面与灌封底座的底座第一之间还设置有密封圈。

5.根据权利要求4所述的一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，所述密封圈采用橡胶圈。

6.根据权利要求1所述的一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，所述凸出部以及所述插入槽的数量均为多个且所述凸出部、所述插入槽的数量相同。

7.根据权利要求6所述的一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，所述凸出部以及所述插入槽均匀布置。

8.根据权利要求1所述的一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，所述磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装还包括：挡胶环、挡胶环垫圈、磁轴承；

磁轴承的下端面设置在所述灌封底座的底座第二部上；

磁轴承的内壁与芯部下工装的外表面接触；

所述挡胶环垫圈放置所述磁轴承的上表面，在挡胶环垫圈的上表面设置有挡胶环。

9.根据权利要求1所述的一种磁悬浮分子泵磁轴承灌封工装，其特征在于，挡胶环的上表面的高度低于芯轴上工装的上端面板的高度。