[实用新型]一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置

权利要求书

1.一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，包括第一去膜槽、第二去膜槽、输送装置、支撑平台、药水收集槽和脱水设备；所述药水收集槽设于所述支撑平台上方；所述脱水设备设于所述药水收集槽上方；所述脱水设备的一侧设有膜渣的排出通道；所述输送装置的两端分别为电机端和排出端；所述第一去膜槽的底部出口处设有第一漏斗；所述第一漏斗设于所述脱水设备的工作面上，并与所述输送装置的排出端连通；所述第二去膜槽的底部设有第二漏斗；所述第二漏斗连通于所述输送装置的第一电机端附近。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，所述第二去膜槽设有多个，并通过各自的第二漏斗与所述输送装置连通。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，所述输送装置内设有输送螺杆；所述输送装置的第一电机带动所述输送螺杆转动，用于输送所述第二去膜槽排出的带有药水的膜渣。

4.根据权利要求3所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，所述输送装置包括膜渣输送管；所述输送螺杆设于所述膜渣输送管中；所述膜渣输送管的管径为15cm。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，还包括药水输送管道；所述药水输送管道的一端与所述药水收集槽连通；另一端设有吸水泵。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，所述输送装置的底部设有多个支撑件；所述支撑件包括呈H型连接的两个支撑杆；支撑杆的一端与所述输送装置连接，另一端支撑于地面。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，所述脱水设备内设有挤出双螺杆；所述脱水设备的第二电机带动所述挤出双螺杆转动，将所述第一去膜槽和第二去膜槽排出的带药水的膜渣进行脱水处理。

8.根据权利要求5所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，所述药水输送管道的管径为0.5cm。

9.根据权利要求1所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，还包括膜渣收集小车；所述膜渣收集小车置于所述排出通道下方，用于收集所述脱水设备排出的脱水膜渣。

10.根据权利要求9所述的一种蚀刻线除胶段的膜渣处理装置，其特征在于，所述膜渣收集小车上设有PLC控制系统。