[实用新型]一种晶圆片切割夹持装置

说明书

本实用新型提供一种晶圆片切割夹持装置，涉及晶圆片加工领域。该晶圆片切割夹持装置，包括夹持台，所述夹持台顶部两侧分别设置有支撑夹板和移动夹板，所述支撑夹板一侧设置有两个安装杆和安装竖板，所述支撑夹板内部两侧均固定连接有橡胶垫。该晶圆片切割夹持装置，橡胶垫与晶圆片发生摩擦，对晶圆片的位置进行固定。随后开启气泵工作通过导气管为气压伸缩杆供气，使气压伸缩杆充气推动移动夹板移动，移动的移动夹板套设到晶圆片外侧，通过移动夹板和支撑夹板对晶圆片进行夹持固定，即可完成对晶圆片的夹持固定，减少工作人员在夹持台顶部夹持固定晶圆片需要的操作步骤，提高晶圆片固定的速度。

技术领域

本实用新型涉及一种夹持装置，具体为一种晶圆片切割夹持装置，属于晶圆片加工技术领域。

背景技术

随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆的应用技术也逐渐成熟。

申请号：202021977388.8的实用新型公开了一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置，包括工作板和工作柱，所述工作板端部与安装板固定连接，且工作板上表面与夹持台通过螺栓装配，同时夹持台左上侧安装有左夹持装置，并且夹持台右上侧安装有右夹持装置，工作板左上侧固定连接有升降台，左夹持装置上固定连接有固定块，且固定块右上侧与夹板固定连接，同时固定块底部与滑块固定连接；所述工作柱安装在安装管内部，且工作柱下端与工作板内部通过螺栓装配。该激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置，左夹持装置与右夹持装置相向移动，通过其上的夹板，将晶圆片夹持在夹持腔中，完成对晶圆片的夹紧工作，保证晶圆片在切割时候的稳定性。

上述技术在应用的过程中，需要向左移动右夹持装置，向右移动左夹持装置,还要依次拧动固定螺帽，才能够完成晶圆片的夹持，对晶圆片的夹持拆卸需要较多的步骤，对晶圆片夹持固定的速度较慢。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆片切割夹持装置，以解决现有技术中需要向左移动右夹持装置，向右移动左夹持装置,还要依次拧动固定螺帽，才能够完成晶圆片的夹持，对晶圆片的夹持拆卸需要较多的步骤，对晶圆片夹持固定的速度较慢的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆片切割夹持装置，包括夹持台，所述夹持台顶部两侧分别设置有支撑夹板和移动夹板，所述支撑夹板一侧设置有两个安装杆和安装竖板，所述支撑夹板内部两侧均固定连接有橡胶垫，所述移动夹板一侧设置有连接杆、安装螺纹管、气压伸缩杆、导气管和气泵，所述导气管一侧设置有气压表。

优选地，所述夹持台顶部开设有顶槽，所述顶槽内部设置有弹性网，所述弹性网与夹持台固定连接，顶槽内部设置有弹性网，并且夹持台顶部固定连接有橡胶环。

优选地，所述导气管外侧与夹持台之间固定连接有竖板，所述气压表固定连接于竖板一侧，所述气压表一侧安装有两个按钮，通过气压表观察导气管和气压伸缩杆内部的气压，操作按钮对气泵的工作进行控制。

优选地，所述夹持台顶部固定连接有橡胶环，所述竖板和安装竖板均设置于橡胶环内部，所述安装竖板与夹持台固定连接，通过橡胶环和弹性网对晶圆片进行接住，避免掉落的晶圆片与夹持台撞击发生损伤，提高对晶圆片加工的安全性。

优选地，所述连接杆固定连接于移动夹板一侧，所述安装螺纹管螺纹套设于连接杆外侧，所述安装螺纹管固定连接于气压伸缩杆一端，移动夹板固定的连接杆离开安装螺纹管内部，即可完成移动夹板的拆卸方便对移动夹板进行拆卸更换。

优选地，所述导气管固定连接于气泵与气压伸缩杆之间，所述气压伸缩杆一侧安装有控制阀，通过导气管为气压伸缩杆供气，使气压伸缩杆充气推动移动夹板移动，移动的移动夹板套设到晶圆片外侧。