[实用新型]一种晶圆片切割夹持装置有效
| 申请号： | 202223189617.1 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN219054881U | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 全宰弘;尹培云;陈欣鑫 | 申请（专利权）人： | 亚新半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 214142 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 切割 夹持 装置 | ||
1.一种晶圆片切割夹持装置，包括夹持台(1)，其特征在于：所述夹持台(1)顶部两侧分别设置有支撑夹板(6)和移动夹板(12)，所述支撑夹板(6)一侧设置有两个安装杆(8)和安装竖板(5)，所述支撑夹板(6)内部两侧均固定连接有橡胶垫(7)，所述移动夹板(12)一侧设置有连接杆(13)、安装螺纹管(14)、气压伸缩杆(15)、导气管(16)和气泵(17)，所述导气管(16)一侧设置有气压表(18)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片切割夹持装置，其特征在于：所述夹持台(1)顶部开设有顶槽(3)，所述顶槽(3)内部设置有弹性网(4)，所述弹性网(4)与夹持台(1)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片切割夹持装置，其特征在于：所述导气管(16)外侧与夹持台(1)之间固定连接有竖板(20)，所述气压表(18)固定连接于竖板(20)一侧，所述气压表(18)一侧安装有两个按钮(19)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆片切割夹持装置，其特征在于：所述夹持台(1)顶部固定连接有橡胶环(2)，所述竖板(20)和安装竖板(5)均设置于橡胶环(2)内部，所述安装竖板(5)与夹持台(1)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片切割夹持装置，其特征在于：所述连接杆(13)固定连接于移动夹板(12)一侧，所述安装螺纹管(14)螺纹套设于连接杆(13)外侧，所述安装螺纹管(14)固定连接于气压伸缩杆(15)一端。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆片切割夹持装置，其特征在于：所述导气管(16)固定连接于气泵(17)与气压伸缩杆(15)之间，所述气压伸缩杆(15)一侧安装有控制阀。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆片切割夹持装置，其特征在于：所述安装杆(8)固定连接于支撑夹板(6)一侧，所述安装竖板(5)开设有两个通槽(9)，两个所述安装杆(8)分别贯穿两个通槽(9)，两个所述安装杆(8)外侧分别套设有固定螺帽(11)和限位套(10)，所述限位套(10)与安装竖板(5)固定连接，所述固定螺帽(11)螺纹套设于安装杆(8)外侧。
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