[实用新型]一种波纹膜片式的压电压力传感器

说明书

本实用新型公开了一种波纹膜片式的压电压力传感器，提高压电压力传感器的线性度，具体方案如下：一种波纹膜片式的压电压力传感器，包括壳体，所述壳体顶部设置有波纹膜片。

技术领域

本实用新型涉及压力传感器技术领域，尤其是一种波纹膜片式的压电压力传感器。

背景技术

本部分的陈述仅仅是提供了与本实用新型相关的背景技术信息，不必然构成在先技术。

压力传感器是测量和检测系统压力的传感器件，在航空航天、军工、石化等领域得到广泛应用。压力传感器有应变式、压阻式、电容式、压电式。其中压电传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大等特点，受到广泛重视。传统压电压力传感器的膜片结构采用平膜片或垂链式膜片，存在线性度差的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种波纹膜片式的压电压力传感器，提高压电压力传感器的线性度。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：

一种波纹膜片式的压电压力传感器，包括壳体，所述壳体顶部设置有波纹膜片。

进一步地，所述波纹膜片上设置有多圈波纹凸起。

进一步地，所述多圈波纹凸起同心。

进一步地，所述波纹膜片底部设置有加速度补偿结构。

进一步地，所述加速度补偿结构包括传力块、压电晶体、电极片、补偿压电晶体、补偿电极片和补偿质量块。

进一步地，所述波纹膜片底部从上到下依次设置有传力块、交错设置的压电晶体与电极片、补偿压电晶体、补偿电极片和补偿质量块，所述传力块与压电晶体接触。

进一步地，所述压电晶体与电极片通过高温导电胶粘节。

进一步地，所述补偿压电晶体和补偿质量块直接接触。

进一步地，所述加速度补偿结构外侧设置有绝缘套筒。

进一步地，所述加速度补偿结构底部设置有芯体。

上述本实用新型的有益效果如下：

1)本实用新型采用波纹膜片，利用波纹膜片波纹间的结构形变和自调整来减小自身变形应力，从而改善传感器的线性度和响应灵敏度。

附图说明

构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

图1是本实用新型根据一个或多个实施方式的一种波纹膜片式的压电压力传感器的主视图。

图2是本实用新型根据一个或多个实施方式的一种波纹膜片式的压电压力传感器的结构示意图。

图3是本实用新型根据另一个或多个实施方式的一种波纹膜片式的压电压力传感器的波纹膜片结构示意图。

图4是本实用新型根据另一个或多个实施方式的一种波纹膜片式的压电压力传感器的波纹膜片线性度图。

图5是垂链式膜片线性度图。

图中：为显示各部位位置而夸大了互相间间距或尺寸，示意图仅作示意。

其中：1.波纹膜片2.传力块3.压电晶体4.电极片5.绝缘套筒6.补偿质量块7.补偿电极片8.补偿压电晶体9.芯体10.壳体。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本实用新型提供进一步的说明。除非另有指明，本实用新型使用的所有技术和科学术语具有与本实用新型所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。