[实用新型]一种波纹膜片式的压电压力传感器有效
| 申请号: | 202223020110.3 | 申请日: | 2022-11-14 |
| 公开(公告)号: | CN219265544U | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
| 发明(设计)人: | 周慎杰;王宇 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
| 主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L9/08 |
| 代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 武博 |
| 地址: | 250061 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 波纹 膜片 压电 压力传感器 | ||
1.一种波纹膜片式的压电压力传感器,其特征在于,包括壳体,所述壳体顶部设置有波纹膜片,所述波纹膜片上设置有多圈波纹凸起,所述多圈波纹凸起同心。
2.根据权利要求1所述的一种波纹膜片式的压电压力传感器,其特征在于,所述波纹膜片底部设置有加速度补偿结构。
3.根据权利要求2所述的一种波纹膜片式的压电压力传感器,其特征在于,所述加速度补偿结构包括传力块、压电晶体、电极片、补偿压电晶体、补偿电极片和补偿质量块。
4.根据权利要求3所述的一种波纹膜片式的压电压力传感器,其特征在于,所述波纹膜片底部从上到下依次设置有传力块、交错设置的压电晶体与电极片、补偿压电晶体、补偿电极片和补偿质量块,所述传力块与压电晶体接触。
5.根据权利要求4所述的一种波纹膜片式的压电压力传感器,其特征在于,所述压电晶体与电极片通过高温导电胶粘节。
6.根据权利要求4所述的一种波纹膜片式的压电压力传感器,其特征在于,所述补偿压电晶体和补偿质量块直接接触。
7.根据权利要求2所述的一种波纹膜片式的压电压力传感器,其特征在于,所述加速度补偿结构外侧设置有绝缘套筒。
8.根据权利要求2所述的一种波纹膜片式的压电压力传感器,其特征在于,所述加速度补偿结构底部设置有芯体。
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