[实用新型]一种防微振基座的专用制作平台

说明书

本实用新型公开了一种防微振基座的专用制作平台,包括支撑框架和仿形面板，支撑框架的底部垂直设置有多个可调立柱，支撑框架的顶部设置有仿形面板且两者通过螺纹连接进行固定，所述仿形面板的正上方固定有倒扣的半成品基座，且所述半成品基座的顶部设置有压形模具，压形模具与仿形面板之间设置有拉马，利用拉马对半成品基座完成紧固，精加工的带有定制定位槽和限位挡边的仿形面板实现基座预埋件及外轮廓的快速精准定位，并通过螺丝连接组装成支撑平台，将半成品基座倒扣在仿形面板的槽中，在内部加入压形模具实现快速构建减重梯形盒，从而精确且高效的建立出基座的整体结构，确保了基座表面预埋件的位置精度，并且提高了基座的制作效率。

技术领域

本实用新型涉及光刻机基座制造技术领域，具体为一种防微振基座的专用制作平台。

背景技术

光刻机在芯片行业大量、广泛地应用，属于高精密仪器，需要配备相应的专用防微振基座。其中防微震基座就是光刻机装机必备的防微振基座之一。制作周期短、定位精度高的防微振基座对缩短光刻机的安装周期，提高光刻机装机精度具有重大意义。特别是对于急需投入使用的光刻机，能在较短时间内保证精度的情况下生产出配套防振基座能极大的缓解装机压力。现有的防微振基座通常采用手工焊接定位块，自由浇灌混凝土的制作方法，难以保证定位块的位置精度，而且制作工艺粗糙，返工返修风险大，加工精度和加工周期逗难以保证。为此，我们提供一种防微振基座的专用制作平台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种防微振基座的专用制作平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型可以通过以下技术方案实现：一种防微振基座的专用制作平台，包括支撑框架和仿形面板，支撑框架的底部垂直设置有多个可调立柱，支撑框架的顶部设置有仿形面板且两者通过螺纹连接进行固定，所述仿形面板的正上方固定有倒扣的半成品基座，且所述半成品基座的顶部设置有压形模具，压形模具与仿形面板之间设置有拉马，利用拉马对半成品基座完成紧固。

本实用新型的进一步技术改进在于：多个所述可调立柱成行、成列均匀排布，且每个可调立柱与支撑框架之间均通过调节螺丝和调节螺母连接，每个可调立柱底部分别用多个膨胀螺丝固定在地面上。

本实用新型的进一步技术改进在于：支撑框架与可调立柱的对接处设置调节垫片调节位置高度，使得支撑框架整体处于水平状态。

本实用新型的进一步技术改进在于：仿形面板开设多个定位槽并在定位槽内螺纹固定有多个不锈钢预埋构件，多个所述不锈钢预埋构件与半成品基座焊接固定，定位槽的形状特征与预埋件完全匹配。

本实用新型的进一步技术改进在于：仿形面板顶部边缘设置多个用于为半成品基座进行定位的定位挡边，且仿形面板上开设有多个螺纹孔，多个所述螺纹孔均设置为沉头孔以避免干涉。

本实用新型的进一步技术改进在于：半成品基座的外围套设有防胀框架，防胀框架与半成品基座的四个侧面紧密贴合。

本实用新型的进一步技术改进在于：压形模具包括吊装横梁、空心盒和支撑钢筋，吊装横梁搭接在空心盒上，空心盒内横竖交叉设置有多根支撑钢筋以保证空心盒的强度，吊装横梁的两端开设有拉马连接孔。

本实用新型的进一步技术改进在于：每一个所述拉马连接孔处连接两个拉马，且两个拉马呈八字形设置，仿形面板上螺纹连接有多个吊环螺丝组，两个拉马远离吊装横梁的一端分别与一组吊环螺丝组中的两个吊环螺丝相连。

与现有技术相比，本实用新型具备以下有益效果：

本实用新型通过精加工的带有定制定位槽和限位挡边的仿形面板实现基座预埋件及外轮廓的快速精准定位，并通过螺丝连接组装成支撑平台，将半成品基座倒扣在仿形面板的槽中，在内部加入压形模具实现快速构建减重梯形盒，从而精确且高效的建立出基座的整体结构，确保了基座表面预埋件的位置精度，并且提高了基座的制作效率。

附图说明