[实用新型]一种虹膜机构观察窗及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种虹膜机构观察窗，所述观察窗安装在真空镀膜设备上，其特征在于：所述观察窗包括依次设置的焊接法兰、圆形观察玻璃及锁紧法兰，所述焊接法兰与锁紧法兰沿同轴线相对设置有第一观察口及第二观察口；

所述观察玻璃位于所述第一观察口及第二观察口之间，并通过焊接法兰与锁紧法兰锁付固定；

所述焊接法兰在远离观察玻璃的一端设置有虹膜机构，所述虹膜机构位于第一观察口处，其可沿观察玻璃中心点收缩或扩张，用于关闭或开启第一观察口；

所述锁紧法兰上设置有旋钮，所述旋钮的一端贯穿焊接法兰与锁紧法兰与虹膜机构固定连接，用于控制虹膜机构的收缩或扩张。

2.根据权利要求1所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述虹膜机构包括沿朝向焊接法兰的方向依次设置的外导槽片、若干虹膜叶片及内导槽片；

所述外导槽片沿朝向观察玻璃的方向固定设置一环形台，用于固定在所述设备壁面上并与外导槽片之间形成安装腔室；

所述焊接法兰远离观察玻璃的一端容置在所述安装腔室内，用于转动套装内导槽片；

所述内导槽片上沿周向均匀设有若干导向槽，用于安装虹膜叶片，所述虹膜叶片在内导槽片上可沿导向槽方向移动。

3.根据权利要求2所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述虹膜叶片与导向槽配合处设有定位凸起，所述定位凸起可沿导向槽方向移动；

所述内导槽片沿圆周顺时针转动时，若干所述虹膜叶片沿各自的导向槽同步移动，以使得若干虹膜叶片呈光圈状向观察玻璃中心点收缩，反之则扩张。

4.根据权利要求3所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述虹膜叶片与所述焊接法兰的端面之间存在一定间隙，用于让位虹膜叶片的收缩或扩张。

5.根据权利要求2所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述内导槽片背离导向槽的一侧设置有凸起部位，所述旋钮远离锁紧法兰的一端固定有长条孔板，所述长条孔板上设置有一滑槽；

所述凸起部位滑动置于所述滑槽内，并可沿滑槽方向移动。

6.根据权利要求5所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述旋钮驱动所述长条孔板做圆周旋转运动，通过凸起部位与滑槽活动配合以驱动内导槽片做圆周旋转运动。

7.根据权利要求2所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述虹膜叶片设置为6－10片。

8.根据权利要求1所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述焊接法兰与锁紧法兰通过螺栓固定，所述观察玻璃通过螺栓锁紧在焊接法兰与锁紧法兰之间。

9.根据权利要求8所述的一种虹膜机构观察窗，其特征在于：所述观察玻璃与焊接法兰及锁紧法兰夹持之间均设有密封圈。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于，应用权利要求1－9中任一项所述的虹膜机构观察窗，所述真空镀膜设备的侧壁上设有安装孔；

所述焊接法兰焊接固定在所述安装孔内，且其设置虹膜机构的一端位于真空镀膜设备内；

所述焊接法兰远离虹膜机构的一端延伸出安装孔并置于真空镀膜设备外，用于安装锁紧法兰。